硅桥连

作品数:17被引量:21H指数:3
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28 nm技术节点微小多晶硅桥连缺陷检测与改进方法的研究
《集成电路应用》2019年第5期23-26,共4页范荣伟 倪棋梁 陈宏璘 
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500204)
针对28 nm技术节点产品上多晶硅微小桥连缺陷,应用电压衬度与光学检测系统,探索了缺陷检测方法的开发流程,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法开发流程进行了创新:通过电压衬度系统进行精确扫描,检测出的...
关键词:电压衬度 电子束扫描 28nm 缺陷检测 流程开发 光刻工艺 干刻工艺 
Boron- and silicon-bridged bis(diphenylphosphino)-type ligands for chromium-catalyzed ethylene oligomerization被引量:2
《Chinese Science Bulletin》2014年第21期2613-2617,共5页Yueming Sun Yanhui Chen Guoliang Mao Yingnan Ning Tao Jiang 
supported by the National Natural Science Foundation of China (U1162114,U1362110);the Program for New Century Excellent Talents in University (NCET-070142)
PNP-type ligands showed very good property in the catalytic systems of PNP/Cr(Ⅲ)/methylaluminoxane(MAO)for ethylene selective tetramerization toward1-octene.In this research,two PNP analogues bis(diphenylphosphino)ph...
关键词:二苯基膦 催化体系 乙烯 低聚 配体 硅桥连 PNP型  
硅桥连共轭聚合物的合成及硝基苯胺对其荧光淬灭性能的研究
《杭州师范大学学报(自然科学版)》2013年第5期391-394,408,共5页张飞豹 顾竹灵 倪勇 郭青林 来国桥 
浙江省自然科学基金项目(Y4100131);古代壁画保护科研基地开放课题资助项目(200808)
制备了3种双(二甲基硅基)取代的含硅单体化合物,即1,4-双(二甲基硅基)苯、4,4′-双(二甲基硅基)联苯、9,10-双(二甲基硅基)蒽,并将上述化合物分别与4,4′-双(乙炔基)联苯在RhCl(PPh3)3/NaI催化下进行硅氢加成反应,制备相应的硅桥联共轭...
关键词:不饱和聚碳硅烷 硅氢加成 光物理性质 
1,2-二(对-甲苯基)-1,2-二甲基二硅桥连二环戊二烯基四羰基二铁的合成及热重排反应被引量:4
《高等学校化学学报》2006年第11期2097-2100,共4页孙怀林 张会利 马玉新 
国家自然科学基金(批准号:29872020;20372036);教育部留学回国人员科研启动基金(批准号:03406);天津市科技发展计划项目(批准号:05YFJMJC06800)资助
C l2M eS iS iM eC l2与环戊二烯基锂及对甲苯基溴化镁反应,生成C5H5(p-Tol)M eS iS iM e(p-Tol)C5H5.后者再与五羰基铁反应,得到标题化合物[η5,η5-C5H4(p-Tol)M eS iS iM e(p-Tol)C5H4]Fe2(CO)2(μ-CO)2(3);同时还得到两个单硅桥连...
关键词:热重排 硅硅键 环戊二烯基 复分解 
四甲基二硅桥连二(1-苯基环己基环戊二烯基)四羰基二铁的合成、结构及热重排反应研究被引量:1
《高等学校化学学报》2003年第10期1801-1805,共5页孙秀丽 王佰全 徐善生 周秀中 翁林红 
国家自然科学基金 (批准号 :2 9972 0 2 3 ;2 0 2 0 2 0 0 4);高等学校博士学科点专项科研基金 (批准号 :2 0 0 0 0 0 5 5 0 4);教育部留学回国人员科研启动基金 (批准号 :2 0 0 1-3 45 )资助
1,2 -二 ( 1 -苯基环己基环戊二烯基 )四甲基二硅烷与 Fe( CO) 5在二甲苯中加热回流生成二铁化合物( Me2 Si Si Me2 ) [( 1 -Ph-c-C6H10 C5H3 ) Fe( CO) ]2 ( μ-CO) 2 ( 2 ) .通过柱层析分离到化合物 2的顺反异构体 2 c和2 t,并分别进...
关键词:四甲基二硅桥连二(1-苯基环己基环戊二烯基)四羰基二铁 合成 晶体结构 热重排反应 环戊二烯基 立体专一性 
四甲基二硅桥连二(环已基环戊二烯基)四羰基二铁的合成、结构及热重排反应研究被引量:1
《有机化学》2003年第7期666-670,共5页孙秀丽 王佰全 徐善生 周秀中 翁林红 
国家自然科学基金(Nos.29972023;20202004);高等学校博士学科点专项科研基金(No.2000005504);教育部留学回国人员科研启动基金(No.2001-345)
1,2-二(环己基环戊二烯基)四甲基二硅烷与Fe(CO)_5在二甲苯中加热回流生成二铁化合物(Me_2SiSiMe_2)[(c-C_6H_(11)-C_5H3)Fe(CO)]_2(μ-CO)_2(2).通过柱层析分离到2的顺反两种异构体2c和2t,并分别进行热重排反应,发现顺式底物2c重排生...
关键词:四甲基二硅桥连二(环己基环戊二烯基)四羰基二铁 合成 晶体结构 热重排反应 环戊二烯基 立体专一性 X射线衍射 
柄型金属有机化合物(Ⅳ)——四甲基二硅桥连取代环戊二烯基钛和锆化合物的合成及催化乙烯聚合被引量:12
《高等学校化学学报》2000年第2期222-226,共5页孙秀丽 王佰全 徐善生 周秀中 赵健 胡友良 
国家自然科学基金!(批准号 :29734142)资助
四甲基二硅桥连取代环戊二烯基配体相继与丁基锂及 MCl4· 2 THF作用 ,生成四甲基二硅桥连取代环戊二烯基钛和锆化合物 ( Me2 Si Si Me2 ) ( C5 H4R) ( C5 H4R ) MCl2 [R=H,R =t-Bu,M=Ti( 1 ) ,Zr( 2 ) ,Hf( 3 ) ;R=H,R =Me,M=Ti( 4) ;R...
关键词:金属茂化合物 乙烯聚合 金属催化剂 
硅桥连双(三甲硅基环戊二烯基)钛化合物的合成及脱硅基反应被引量:3
《高等学校化学学报》1999年第1期50-53,共4页王佰全 徐善生 周秀中 
国家自然科学基金;天津市21世纪青年科学基金
硅桥连双(三甲硅基环戊二烯基)双锂盐与TiCl4·2THF反应,生成相应的钛化合物[E(C5H3SiMe3)2]TiCl2[E=Me2SiSiMe2(3),Me2SiOSiMe2(5)],同时还分离到了脱一个三甲硅基...
关键词:柄型 硅桥连 茂钛 脱硅基 茂金属 催化剂 
柄型茂金属化合物(Ⅲ)被引量:6
《高等学校化学学报》1999年第1期77-80,共4页王佰金 徐善生 
国家自然科学基金,天津市21世纪青年科学基金
1,2-二(1-茚基)四甲基二硅烷相继与本基锂及MCl4·2THF作用。生成四甲基二硅桥连二(1-茚基)钛和锆化合物(Me2SiSiMe2)「Ind」2CMl2「M=(Ti(1),Zr(2)」,对其进行催化氢化,得到...
关键词:柄型 硅桥连   催化剂 茂金属 乙烯 聚合 
SnCl2对硅(锗)桥连双核铁化合物(Me2E)(η^5—C5H4)Fe(CO)2(μ—CO…
《合成化学》1997年第A10期609-609,共1页张永强 徐善生 
关键词:二氯化铁 硅桥连 锗桥连 双核铁化合物 插入反应 
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