硅微电容传声器

作品数：4被引量：9H指数：2
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基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展被引量：6
《电子与封装》2011年第2期34-38,共5页刘小玲 罗荣辉 张操 郭小伟 
光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点,在现代工农业、环境监测、生物技术等领域发挥着重要的作用。随着这些领域的发展,人们对气体探测器的综合性能要求越来越高,因而光声气体探测器得到了良好的发...
关键词：光声光谱 气体探测 硅微电容传声器 驻极体 
硅微电容传声器的防粘连结构
《传感技术学报》2006年第05B期2279-2282,共4页潘昕 汪承灏 徐联 魏建辉 
国家自然科学基金SOC重大科研计划重点基金项目资助(90207003)
粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构大都制备在上背板结构硅微电容传声器的...
关键词：微机电系统 硅微电容传声器 防粘连 微突出 
圆形振动膜硅微电容传声器被引量：3
《传感技术学报》2006年第05B期2297-2299,2303,共4页田静 汪承灏 徐联 乔东海 马军 郝震宏 魏建辉 
国家自然科学基金SOC重大科研计划重点项目资助(90207003;90607003);国家863项目资助
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz^18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
关键词：声学微电子机械系统 硅微电容传声器 圆型振动膜 
一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法
《有色冶金节能》2005年第3期47-47,共1页
该发明涉及一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法。该芯片包括-n-型硅基片，在共正面扩散硼形成p+型搀杂层，在该层上面沉积二氧化硅、刻蚀成隔离层，在其上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜，并光刻、腐蚀成圆形铝膜...
关键词：电容传声器 制备方法 芯片 种用 硅基片 二氧化硅 氮化硅 n-型 搀杂 隔离层 膜层 振动 铝电极 腐蚀 保护膜 空气隙 沉积 铝膜 缺口 梯形 背板 穿孔 孔形 
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