硅谐振

作品数：15被引量：19H指数：3
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硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1542-1544,共3页黄咏梅 林敏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表...
关键词：MEMS 硅谐振微传感器 微弱信号 外差式 随机共振 
电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析
《传感技术学报》2006年第05B期1835-1839,共5页潘军 黄庆安 秦明 
国家自然科学基金资助(60476019)
介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并逐一加以比较分析.本文还利用有...
关键词：谐振频率 电磁激励 双端固支梁 有限元 
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