合成金刚石

作品数：341被引量：384H指数：8
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微波等离子体CVD法合成金刚石
《微细加工技术》1990年第2期80-86,90,共8页胜又聪 风早富雄 坪川雅也 吴明华 
金刚石作为最昂贵的宝石,在女性中特别受到青睐。可是,把金刚石作为工业材料来看时,它就具有种种很高的利用价值和最佳的特性。比如,由于它是地球上最硬的物质的缘故,它作为切削加工的切削刃,被应用到各个方面。牙科医生使用的牙用钻头...
关键词：微波 等离子体 CVD法 合成 金刚石 
用等离子体CVD法高速合成金刚石
《微细加工技术》1990年第2期76-80,共5页尾花 博 吴明华 
关于金刚石气相合成法,已经发表了热灯丝方法以及其他许多的研究报告,不过,笔者认为这些方法跟现在已应用很广的高压法比较,其合成速度慢,在实际应用中还留有研究的余地。 在这种情况下。
关键词：等离子体 CVD法 合成 金刚石 
在大气中利用燃烧火焰合成金刚石被引量：1
《微细加工技术》1990年第2期65-69,共5页广濑洋一 天沼修二 王景义 
气相合成金刚石的方法,可举出有热灯丝CVD法、微波等离子体CVD法、电子轰击CVD法(EACVD法)、直流等离子体CVD法、弧光放电等离子体CVD法、等离子体喷射CVD法等。 这些合成法一般是用等离子体分解碳素源,并在还原性气氛中,生成原子态氢...
关键词：金刚石 合成 燃烧火焰 等离子体 
有磁场的等离子体CVD法合成金刚石
《微细加工技术》1990年第2期70-75,共6页铃木準一 魏津 川原田洋 平木昭夫 王景义 
最近几年,金刚石由于具有出色的物理性能和化学性能,除了期待它在工具、研磨材料上的应用之外,还期待它在半导体材料、光学材料、热沉、音响材料等方面得到应用,特别是现在能用气相合成法很容易制成多晶金刚石薄膜,这些方面的应用研究...
关键词：金刚石 CVD法 合成 等离子体 磁场 
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