氟化非晶碳薄膜

作品数：23被引量：80H指数：7
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面向大空间建筑的氟化非晶碳薄膜性能调控方法研究
《真空》2023年第6期42-46,共5页吴小虎 呼书杰 孙恩泽 张鑫 赵琦 
中国博士后科学基金资助项目(2023M730823)。
大空间建筑既是城市景观的重要组成元素,又是展现城市特色、彰显时代风貌、传承城市历史的重要载体。氟化非晶碳薄膜有望作为外立面修饰材料,提升大空间建筑的自清洁、防雾和抗冰能力。本文介绍了氟化非晶碳薄膜的射频/直流共溅射方法,...
关键词：氟化非晶碳薄膜 城乡建设 疏水 微观形貌 
CF_4,CH_4制备氟化非晶碳薄膜工艺研究被引量：8
《真空》2004年第1期22-25,共4页刘雄飞 肖剑荣 李幼真 
以CF4和CH4为源气体,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a-C∶F)薄膜。发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系,薄膜中氟的存在是导致薄膜具有紫外吸收特性的根本原因;用傅立叶变换红外光谱(...
关键词：CF4 CH4 氟化非晶碳薄膜 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 沉积速率 射频功率 介电常数 
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