复合抛光

作品数:47被引量:151H指数:6
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相关领域:金属学及工艺更多>>
相关作者:阎秋生潘继生韩冰张振宇路家斌更多>>
相关机构:广东工业大学大连理工大学南京航空航天大学长春工业大学更多>>
相关期刊:《设备管理与维修》《无机材料学报》《新技术新工艺》《现代制造工程》更多>>
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医用TC4钛合金激光-化学复合抛光及表面形貌演化被引量:1
《中国表面工程》2024年第2期227-237,共11页邵勇 孙树峰 王萍萍 蒙卡·彼得·帕沃尔 陈博文 张丰云 王茜 孙维丽 
国家自然科学基金(51775289);高等学校学科创新引智计划(D21017);中国-斯洛伐克双边政府间交流项目(国科外[2022]5号-12);青岛西海岸新区科技项目(2021-70);青岛西海岸新区科技项目(源头创新专项)(2020-103)。
表面粗糙度是医疗器械构件最重要的质量特征之一,然而现有的激光抛光、化学抛光等单一表面抛光技术存在一定局限性。针对医用TC4钛合金表面的精密抛光需求,设计并搭建一套激光-化学复合抛光系统,通过激光-化学复合加工材料去除机理分析...
关键词:激光 钛合金 抛光 表面形貌 化学腐蚀 
激光化学复合抛光工艺参量对304不锈钢性能的影响被引量:4
《激光技术》2019年第3期295-300,共6页丁瑞堂 孙树峰 刘庆玉 邵晶 
国家自然科学基金资助项目(51775289);青岛市应用基础研究资助项目(18-2-2-6-jch);山东省重点研发计划(重大关键技术)资助项目(2016ZDJS02A15);山东省自然科学基金重大资助项目(ZR2018ZB0524);青岛市创业创新领军人才计划资助项目(青科创字[2016]11号)
为了提高304不锈钢表面抛光质量,采用激光化学复合抛光的方法分别在纯净水和抛光液中对304不锈钢进行抛光实验研究,并对1064nm激光的加工功率和扫描次数对加工区域表面形貌和表面质量的影响进行了分析。气泡对抛光液在不锈钢表面形成的...
关键词:激光技术 复合抛光 304不锈钢 表面粗糙度 
用于蓝宝石材料加工的新型超精密抛光技术及复合抛光技术研究进展被引量:10
《材料导报》2018年第9期1452-1458,共7页胡扬轩 邓朝晖 万林林 李敏 
湖南省自然科学联合基金(2017JJ4007);湘潭市科技计划项目(ZCB20164021);湖南省自然科学面上基金(2017JJ2092);国家自然科学基金(51405152;51605163)
超精密抛光是一种降低表面粗糙度,获得高表面质量和表面完整性的加工技术。蓝宝石作为典型的难加工硬脆材料,传统抛光方法存在表面会产生崩碎、划痕等损伤,表面质量难以得到保证以及加工效率低等问题。本文综述了应用于蓝宝石材料的磁...
关键词:蓝宝石材料 超精密抛光 去除材料机理 化学机械抛光 
兆声化学机械复合抛光及其抛光均匀性的实现被引量:1
《纳米技术与精密工程》2017年第6期538-544,共7页翟科 任奕 李亮 何勍 
辽宁省科学技术计划资助项目(2015020159);辽宁省教育厅高校基本科研业务费资助项目(JL201615408)
在匹配层结构压电换能器的基础上,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,在横向尺度上实现了兆声抛光工具头振动振幅的均匀化,进而开展了有/无兆声作用下硅片的化学机械抛光实验.抛光后,无兆声作用硅片的表面粗糙度Ra均值达到0.072μm...
关键词:兆声 化学机械抛光 硅片 均匀性 
硅片边缘超声振动辅助化学机械抛光实验被引量:6
《农业机械学报》2010年第2期221-226,共6页刘仁鑫 杨卫平 吴勇波 
日本秋田县新规事业开发支援基金资助项目(A-2006235)
提出一种超声振动辅助化学机械复合抛光硅片边缘新技术,建立了抛光工具设计、性能检测及复合抛光实验系统,并进行了不同超声振动形式传统化学机械以及抛光工具对硅片边缘抛光的实验研究。结果表明,在相同抛光条件下,抛光工具超声椭圆振...
关键词:硅片边缘 超声椭圆振动 复合抛光 
复合抛光对CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究被引量:4
《无机材料学报》2006年第2期499-502,共4页苏青峰 夏义本 王林军 史伟民 
国家自然科学基金(60277024)上海应用材料研究与发展基金上海市纳米专项(0452nm051)上海市重点学科(T0101))资助
采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法,对通过热丝CVD方法生长的金刚石薄膜进行了复合抛光处理.并利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电子显微镜 (SEM)和原子力显微镜(AFM)对金刚石薄膜进行了表征.结果表明,所合成的金...
关键词:CVD金刚石薄膜 复合抛光 表面粗糙度 
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