李亮

作品数：8被引量：11H指数：2
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供职机构：辽宁工业大学理学院更多>>
发文主题：硅片化学机械抛光抛光液触变性表面粗糙度更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺文化科学更多>>
发文期刊：《辽宁工业大学学报（自然科学版）》《科学技术与工程》《科教文汇》《科技创新与应用》更多>>
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抛光液在兆声振动作用下的流动特性仿真
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2019年第3期173-176,共4页李小龙 何勍 李亮 
辽宁省科学技术计划项目(2015020159)
为研究兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流体的影响。采用理论分析方法,研究兆声振动在抛光液中产生的声辐射压力,利用有限元分析,建立抛光过程中抛光垫单孔隙、抛光液层、声源等简化模型,研究兆声振动作用到抛光液中后抛光液的运动...
关键词：兆声振动 抛光垫孔隙 抛光液 流动特性 有限元分析 
非线性保守摆的研究被引量：1
《科技创新与应用》2019年第14期23-25,共3页郑冕 李亮 
文章采用Jacobi椭圆函数描述保守摆动系统的非线性运动学方程,研究了非线性摆的角位移随时间及振幅的变化,计算了不同振幅对应的振动周期,并同实验结果进行比较,发现理论值和实验值符一致。同时用大振幅摆的周期间接测量了重力加速度,...
关键词：非线性 复摆 重力加速度 
兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流动的影响被引量：1
《科学技术与工程》2019年第3期79-84,共6页李亮 任奕 李小龙 何勍 
辽宁省教育厅高校基本科研业务费项目(JL201615408);辽宁省科学技术计划项目(2015020159)资助
为了将兆声引入化学机械抛光,进一步提高抛光效率,深入研究了化学机械抛光中兆声对抛光液流动的影响。首先测试抛光头工作表面的轴向振幅,再观察兆声致抛光液流动现象,最后对抛光头中声场和兆声致流场进行理论分析。利用流体力学理论分...
关键词：兆声 振子 化学机械抛光 抛光液 硅片 粗糙度 贝赛尔函数 
小振幅兆声对硅片化学机械抛光效果的影响被引量：3
《科学技术与工程》2018年第14期111-115,共5页李亮 何勍 郑冕 任奕 李小龙 
辽宁省教育厅高校基本科研业务费(JL201615408);辽宁省科学技术计划(2015020159)资助
为了改善硅片化学机械抛光效果,提高硅片表面质量,一小振幅兆声振子引入化学机械抛光系统,通过对比表面粗糙度大小和分布,发现该振子对改善硅片化学机械抛光效果有明显促进作用。测试表明:振子频率为1.7 MHz,中心最大振幅约为70 nm;硅...
关键词：兆声 压电振子 化学机械抛光 硅片 表面粗糙度 
影响惠斯通电桥灵敏度的几个因素被引量：2
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2018年第1期68-70,共3页郑冕 李亮 
通过求解基尔霍夫方程组得出惠斯通电桥灵敏度与电桥相关参量之间的理论关系,并用实验方法研究这种电桥灵敏度随相关参量的变化关系。理论和实验结果都表明,电桥灵敏度随电源电压线性增加,随检流计量程增大而增大,随比率臂上电阻阻值增...
关键词：惠斯通电桥 灵敏度 电阻 基尔霍夫方程组 
兆声化学机械复合抛光及其抛光均匀性的实现被引量：1
《纳米技术与精密工程》2017年第6期538-544,共7页翟科 任奕 李亮 何勍 
辽宁省科学技术计划资助项目(2015020159);辽宁省教育厅高校基本科研业务费资助项目(JL201615408)
在匹配层结构压电换能器的基础上,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,在横向尺度上实现了兆声抛光工具头振动振幅的均匀化,进而开展了有/无兆声作用下硅片的化学机械抛光实验.抛光后,无兆声作用硅片的表面粗糙度Ra均值达到0.072μm...
关键词：兆声 化学机械抛光 硅片 均匀性 
浅谈如何在大学物理实验教学中培养学生的科研能力被引量：1
《科教文汇》2017年第22期48-50,共3页郑冕 李亮 
辽宁工业大学理学院教改课题资助项目(201709216);辽宁工业大学理学院教改课题资助项目(201709217)
大学物理实验是大学阶段普通物理教学的重要组成部分,是培养学生科研能力的启步平台,是学生后续学习和发展的坚实基础。本文详细论证了学生自学能力、设计能力、科学分析能力、团队精神及科学素养对培养学生科研能力的必要性;同时分析...
关键词：大学物理 实验 科研能力 
镁合金AZ91D半固态浆料暂态流变行为理论初探被引量：3
《辽宁工业大学学报（自然科学版）》2016年第6期393-396,400,共5页李亮 郑冕 
应用半固态金属浆料微结构模型研究镁合金AZ91D类液态半固态浆料的暂态流变行为,发现镁合金AZ91D半固态浆料暂态流变行为与其微结构具有较强关联,浆料触变性的微观根源在于聚集体的解聚速度远大于聚集速度。同时针对滞回环进行理论计算...
关键词：半固态 流变学 触变性 微结构 
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