薄膜电阻器

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用溅射法制备混合集成电路中的Cr·SiO薄膜电阻器
《电子元器件应用》2002年第8期46-47,58,共3页王军峰 殷小莉 陈福山 
介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
关键词：Ci·SiO薄膜电阻器 混合集成电路 溅射 TCR 
埋置型薄膜多层布线技术研究
《混合微电子技术》1995年第4期38-44,共7页王桦 
埋置型薄膜多层布线基板与其它多层布线基板相比有更高的集成度。本文讨论了埋置型薄膜多层布线基板制造工艺中的技术问题及解决措施。并成功地在埋置双层混合电路中进行了应用。
关键词：混合集成电路 多层布线 薄膜电阻器 埋置型 
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