氮化铝陶瓷基片

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氮化铝陶瓷基片产品介绍
《混合微电子技术》1997年第1期68-69,共2页崔嵩 黄岸兵 
关键词：氮化铝 陶瓷 基片 
氮化铝陶瓷基片制造工艺稳定性研究
《混合微电子技术》1995年第1期26-31,共6页黄岸兵 崔嵩 
本文讨论了影响ＡｌＮ制造工艺稳定性的几个因素。得到一种具有热导率大于１００Ｗ／ｍ．Ｋ，成品率约为８５％的ＡｌＮ基片较为稳定的制造工艺。
关键词：氮化铝陶瓷基片 制造工艺 稳定性 集成电路 
单一添加剂氮化铝陶瓷基片的研制
《混合微电子技术》1991年第4期46-53,共8页崔嵩 黄岸兵 
关键词：氮化铝 陶瓷基片 工艺 助剂 
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