PCVD

作品数：241被引量：448H指数：9
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PCVD制备新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜及其微观结构表征被引量：4
《金属学报》2005年第9期985-988,共4页郭岩 畅庚榕 马胜利 徐可为 
国家自然科学基金项目50271053和50371067;国家自然科学基金委重大国际合作项目50420130033;国家重点基础研究发展规划项目2004CB619302;教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-04-0934资助
用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法,在高速钢试样表面沉积出一种新型Ti-Si-C-N薄膜材料.研究了不同SICl4流量对薄膜成分、微观组织形貌以及薄膜晶体结构的影响.X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)...
关键词：Ti-Si-C-N PCVD 纳米复合薄膜 微观结构 
残余氧对TiN+Si_3N_4纳米复合薄膜硬度的影响被引量：6
《金属学报》2004年第10期1037-1040,共4页马大衍 马胜利 徐可为 S.Veprek 
国家高技术研究发展计划项目2001AA338010;国家自然科学基金项目50271053;50371067;教育部博士点基金项目;中德重点实验室合作项目20033007资助
用直流等离子体增强化学气相沉积设备在不锈钢表面沉积纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4复相薄膜.主要研究了氧元素对薄膜硬度的影响.结果表明,薄膜中极其微量的氧含量就会使nc-TiN+a-Si3N4薄膜的硬度大幅降低.薄膜中氧含量小于0.2％(原子分数)...
关键词：PCVD TIN SI3N4 薄膜 硬度 氧含量 
PCVD制备Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜的结构与硬度被引量：9
《金属学报》2004年第6期669-672,共4页马胜利 徐健 介万奇 徐可为 M.G.J.Veprek-Heijman S.Veprek 
国家自然科学基金50271053;50371067;国家高技术研究发展计划项目2001AA883010资助
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti_(1-x)Al_xN薄膜由3—10nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时...
关键词：(Ti A1)N硬质薄膜 微观结构 硬度 热稳定性 
Ti-Si-N纳米复相薄膜及Si含量对脉冲直流PCVD镀膜质量的影响被引量：9
《金属学报》2003年第10期1047-1050,共4页马大衍 王昕 马胜利 徐可为 
国家高技术研究发展计划项目2001AA338010;国家自然科学基金项目59931010和50271053资助
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)设备,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积Ti-Si-N三元薄膜,研究了不同N2流量对薄膜组织及性能的影响.结果表明;随N2流量增大,膜层沉积速率及膜层中Si含量减少,薄膜组织趋于致密,膜层颗粒尺寸明...
关键词：PCVD TI-SI-N 相组成 临界载荷 
脉冲电压幅值对等离子体化学气相沉积TiN薄膜膜基结合行为的影响被引量：20
《金属学报》2000年第1期77-80,共4页马胜利 李雁淮 徐可为 
国家863高技术项目!7150080060;西安交通大学博士基金!DFXJU1999-7
用工业型脉冲等离子体化学气相沉积（ＰＣＶＤ）设备、在高速钢（Ｗ１８Ｃｒ４Ｖ）和钴基硬质合金 ＳＣ３０基材表面沉积了 ＴｉＮ薄膜，用扫描电镜（ＳＥＭ）和连续加载压入仪研究了脉冲电压幅值对膜基结合行为的影响．结果表明随脉冲...
关键词：PCVD 膜基结合力 压入法 氮化钛 薄膜 
等离子体化学气相沉积Ti-N-C膜的研究被引量：7
《金属学报》1993年第1期B039-B044,共6页赵程 彭红瑞 李世直 
国家自然科学基金
用XPS,AES,XRD,SEM及显微硬度计分析和测试了不同成分的等离子体化学气相沉积(PCVD)Ti—N—C膜,并与PCVD一TiN膜比较。认为:Ti—N—C膜优异的耐磨性可归因于高显微硬度及致密的结构。AES及XPS分析结果表明,Ti—N—C与TiN膜表面吸附的氧...
关键词：Ti-N-C膜 TIN膜 PCVD 
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