压电陶瓷驱动器

作品数：163被引量：713H指数：12
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：田延岭张大卫王福军张宪民邱志成更多>>
相关机构：天津大学中国科学院华南理工大学广东工业大学更多>>
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新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4
《高技术通讯》2002年第6期83-87,共5页刘品宽 孙立宁 荣伟彬 蒋利民 田昭武 
国家自然科学基金 ( 2 98330 70 ;50 1750 19)资助项目
约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻...
关键词：智能电化学微加工系统 约束刻蚀剂层技术 压电陶瓷驱动器 半导体 三维超微图形复制加工技术 
双重驱动机器人柔性手臂的研究被引量：1
《高技术通讯》2000年第2期86-89,共4页孙立宁 赵宏伟 赵宏伟 张涛 蔡鹤皋 
机器人网点实验室资助项目
本文研究了机器人柔性手臂的实验系统,针对柔性臂的振动问题和定位精度问题,提出了在单个关节柔性臂上实现宏/微结合双重驱动的基本思想。用伺服电机实现柔性臂的宏动,用压电陶瓷驱动器实现柔性臂的微动,通过有效地控制伺服电机和压电...
关键词：主动控制 柔性手臂 压电陶瓷驱动器 机器人 
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