PROLITH

作品数：8被引量：5H指数：1
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
相关作者：李艳秋张飞崔立红黄国胜刘明更多>>
相关机构：中国科学院复旦大学中国科学院微电子研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》更多>>
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离轴照明对ArF浸没式光刻的影响被引量：1
《微细加工技术》2005年第1期43-47,57,共6页黄国胜 李艳秋 张飞 
中国科学院"引进国外杰出人才"2001年资助项目(2001年度);863IC装备专项(SSPC (03) 11 01)
研究了离轴照明对65nm分辨率ArF浸没式光刻的影响。在3/4环形照明和3/4四极照明方式下,研究65nm线宽的密集线条、半密集线条、孤立线条在较大曝光系统参数范围内的光刻性能,并对不同照明方式的光刻性能进行了比较。结果表明,在可用焦深(...
关键词：离轴照明 ArF浸没式光刻 仿真 PROLITH 
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