压阻传感器

作品数：112被引量：195H指数：6
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相关作者：王宗荣陈本华李佳陈大鹏王玮冰更多>>
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高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2006年第8期1496-1502,共7页刘剑 李昕欣 金大重 刘民 王跃林 左国民 余海涛 包菡涵 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB300405);国家自然科学基金(批准号:60376038)资助项目~~
开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器.在悬臂梁上面实现了使用惠斯通压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构.与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提高传感器特异性反应吸附质量以...
关键词：悬臂梁 压阻敏感 电磁激励 AGC式闭环电路 谐振模态 质量检测分辨率 
COB封装中芯片在基板不同位置的残余应力被引量：1
《功能材料与器件学报》2002年第4期402-406,共5页孙志国 黄卫东 蒋玉齐 罗乐 
国家科技部973资助项目G1999033108
利用硅压阻力学芯片传感器作为原位监测的载体,研究了直接粘贴芯片的封装方式中,芯片在基板上的不同位置对于封装后残余应力的影响以及在热处理过程中残余应力的变化,发现粘贴在基板靠近边的位置和中心位置时应力水平接近,但是靠近基板...
关键词：COB封装 芯片 基板 硅压阻传感器 残余应力 位置 失效 
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