压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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基于数据融合的压力传感器温度误差补偿方法被引量：2
《仪表技术》2008年第4期65-67,共3页黄永武 王伟平 王晓书 
分析压阻式压力传感器的工作原理,针对压阻式压力传感器输出电压受温度影响较大的特点,讨论了一种基于数据融合的温度误差补偿方法。实验表明,采用该方法后,压阻式压力传感器输出电压受温度影响大大减小,系统性能更加稳定,工作更加可靠。
关键词：压阻式压力传感器 数据融合 稳定 可靠 
基于小波神经网络的压力传感器温度误差补偿方法被引量：2
《仪表技术》2007年第12期45-47,共3页赵海兵 王学德 
分析压阻式压力传感器的工作原理,针对压阻式压力传感器输出电压受温度影响较大的特点,讨论了一种基于小波神经网络的温度误差补偿方法。实验表明,采用该方法后,压阻式压力传感器输出电压受温度影响大大减小,系统性能更加稳定,工作更加...
关键词：压阻式压力传感器 小波神经网络 稳定 可靠 
机载压阻式压力传感器设计与加工被引量：3
《仪表技术》2007年第6期62-64,共3页张栋 李永红 
介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。
关键词：MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散 
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