压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法被引量：9
《微纳电子技术》2012年第2期96-101,123,共7页韩锐锐 张兆华 任天令 林惠旺 刘理天 
国家自然科学基金资助项目(60936002);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z372);国家科学与技术重大专项资助项目(2011ZX02403-002)
灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分...
关键词：灵敏度 线性度 压阻式压力传感器 有限元分析(FEA) 路径积分 
硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力被引量：6
《功能材料与器件学报》2008年第2期452-456,共5页许东华 张兆华 林惠旺 刘理天 任天令 
国家863项目(No.2006AA04Z372);北京市科委项目(No.GYYKW0507009)
硅玻璃阳极键合技术因键合强度高,工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃...
关键词：硅-玻璃 阳极键合 压力传感器 残余应力 
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
《微纳电子技术》2007年第7期188-191,共4页许东华 林惠旺 张兆华 谭智敏 刘理天 
浙江省科技攻关重大专项支持(2005C11015);北京市科委项目(GYYKW0507009)
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它...
关键词：压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂 
TPMS硅基压阻式压力传感器的研制被引量：5
《传感技术学报》2006年第05B期1822-1825,共4页张艳红 刘兵武 刘理天 张兆华 谭智敏 林惠旺 
轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,针对在30μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏电阻,设计并制...
关键词：压阻式压力传感器 灵敏度 线性度 TPMS 
压阻式压力传感器零点输出研究被引量：5
《传感器技术》2002年第7期9-11,共3页李晶晶 岳瑞峰 刘理天 
使用有限元方法 ,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ,结果表明 :由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ,即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ,传感器也可能存在零点输出。
关键词：压阻式 压力传感器 压阻效应 零点输出 力敏电阻条 温度分布 
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