SIO2栅介质

作品数：3被引量：3H指数：1
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：陈刚蔡苇符春林刘兴明刘理天更多>>
相关机构：北京大学中国科学院重庆科技学院清华大学更多>>
相关期刊：《红外与毫米波学报》《半导体技术》《红外与激光工程》更多>>
相关基金：创新研究群体科学基金国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
高k栅介质材料的研究进展被引量：2
《半导体技术》2007年第2期97-100,共4页蔡苇 符春林 陈刚 
重庆科技学院科技创新团队建设工程(CX06-9)
综述了超薄SiO2栅介质层引起的问题、MOS栅介质层材料的要求、有希望取代传统SiO2的高k栅介质材料的研究进展。提出了高k栅介质材料研究中需进一步解决的问题。
关键词：高K栅介质 SIO2栅介质 等效氧化物 
新型SiO_2栅介质非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器被引量：1
《红外与激光工程》2006年第6期764-766,770,共4页刘兴明 韩琳 刘理天 
国家自然科学基金委创新研究群体科学基金支持项目(60221502)
对用作室温红外探测敏感单元的非晶硅薄膜晶体管进行了研究,提出了一种新型SiO2栅介质非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器。该探测器的基本工作机理与传统的SiNx栅介质薄膜晶体管相类似,但在器件性能方面不仅具有较高的响应度,而且具有更...
关键词：非晶硅薄膜晶体管 室温红外探测器 SIO2栅介质 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部