SOI技术

作品数：107被引量：81H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：林成鲁张兴揣荣岩赵玉龙王阳元更多>>
相关机构：北京大学中国科学院沈阳工业大学西安交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”天津市科技支撑计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=仪表技术与传感器x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
压阻式小量程SOI加速度敏感芯片设计与分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2021年第2期28-31,40,共5页杨宇新 揣荣岩 张冰 李新 张贺 
国家自然科学基金项目(61372019);辽宁省高等学校基本科研项目(LFGD2017015)。
为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,为弥补压阻式传感器测量小信号精度低这一不足,基于SOI技术设计了单晶硅应变电阻。利用有限元法对敏感芯...
关键词：加速度传感器 小量程 敏感微梁 过载能力 应变电阻 SOI技术 
压阻式小量程SOI压力敏感结构仿真分析被引量：2
《仪表技术与传感器》2019年第2期14-17,共4页揣荣岩 吕品 杨宇新 张冰 
国家自然科学基金项目(61372019)
针对小量程MEMS压力传感器存在提高灵敏度与降低非线性相互制约的问题,利用板壳理论对小量程压力敏感结构进行了仿真分析,给出了兼顾这两个相互制约技术指标的设计方法。基于SOI技术设计了小量程压力敏感结构,通过感压膜片断裂前与衬底...
关键词：压力敏感结构 小量程 灵敏度 非线性 过载 SOI技术 
基于SOI技术高温压力传感器的研制被引量：11
《仪表技术与传感器》2014年第6期4-6,共3页陈勇 郭方方 白晓弘 卫亚明 程小莉 赵玉龙 
国家863计划项目(2011AA040401)
针对油气田等领域高温高压环境要求,介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制,设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题。通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装...
关键词：高温压力传感器 硅隔离 静电键合 波纹膜片 封装 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部