SOI技术

作品数:107被引量:81H指数:5
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相关机构:北京大学中国科学院沈阳工业大学西安交通大学更多>>
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SOITEC携领SOI技术进军中国市场
《电子工业专用设备》2008年第4期68-68,共1页
Soitec公司(法国巴黎Euronext)是全世界绝缘硅(Silicon on Insulator,简称SOI)晶片和其他工程基片的领先供应商。在今年SEMICON中国展览会期间举行的新闻发布会上,Soitec说,在整个行业,使用SOI的设计和制造蓬勃发展,为中国爆炸性增...
关键词:SOI技术 中国市场 SEMICON tec公司 新闻发布会 法国巴黎 制造业 绝缘硅 
先进制程导入SOI晶圆代工厂布局暗潮汹涌
《电子工业专用设备》2006年第12期50-50,共1页
随着微处理器(CPU)、游戏机芯片(GPU)制程对SOI技术需求愈来愈强,SOI已成各大晶圆代工角逐核心客户青睐的武器。台积电、联电都不敢轻忽先进制程以下导入SOI技术大量生产的重要性,新加坡特许半导体(Chartered Semiconductor)则...
关键词:SOI晶圆 制程 工厂布局 SOI技术 微处理器 技术需求 晶圆代工 
SOI技术及其设备
《电子工业专用设备》2006年第3期43-45,共3页翁寿松 
介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅SOI技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机。
关键词:SOI技术 超薄SOI 应变硅SOI 大柬流 专用氧离子注入机 
日趋成熟的SOI技术被引量:5
《电子工业专用设备》2001年第1期15-22,共8页赵璋 文羽中 
SOI技术作为 2 1世纪的硅集成技术正在日益受到人们的青睐。从SOI技术的发展过程、制备工艺、开发应用及市场预测几个方面评述了SOI技术现状及前景。
关键词:绝缘体上硅 注氧隔离 硅集成技术 半导体 
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