XY工作台

作品数：19被引量：45H指数：4
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
相关作者：杨洪涛杨鹏李莉蔡弋白立芬更多>>
相关机构：安徽理工大学约翰内斯﹒海德汉博士有限公司THK株式会社日立制作所更多>>
相关期刊：《组合机床与自动化加工技术》《光学精密工程》《中国机械工程》《仪器仪表学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划吉林省高等教育教学研究课题教育部科学技术研究重点项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 学科=电子电信x
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
伺服运动控制工作台精度误差分析被引量：1
《电子工业专用设备》2022年第1期53-56,共4页谭立杰 闫芸 宋婉贞 
以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准。通过几方...
关键词：伺服控制 XY工作台 定位精度误差 重复精度误差 
激光干涉仪在XY工作台测量中的应用被引量：3
《电子工业专用设备》2020年第5期37-41,共5页金黎雷 
激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最...
关键词：纳米级 激光干涉 位移测量 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部