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作品数：72被引量：145H指数：5
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微观结构对PZT薄膜反应离子刻蚀的影响被引量：1
《压电与声光》2005年第4期415-417,共3页史鹏 张良莹 姚熹 
上海市重点学科建设基金资助项目
随着锆钛酸铅(PZT)薄膜在铁电微器件中的广泛应用,薄膜微图形化和刻蚀的研究也日益受到重视。研究表明在薄膜的刻蚀过程中,薄膜表面的微观结构和等离子体都对刻蚀有很大的影响。该文研究了具有不同微观结构的薄膜的反应离子刻蚀特性。...
关键词：锫钛酸铅 薄膜 反应离子刻蚀 微观结构 
PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究被引量：9
《压电与声光》2005年第2期209-212,共4页郑可炉 褚家如 鲁健 李恒 
教育部博士点基金(20030358018);优秀青年教师资助计划项目
介绍了一种刻蚀效果良好的PZT薄膜的湿法刻蚀方法。在分析了刻蚀液成分对刻蚀效果影响的基础上,选择体积比为1∶2∶4∶4的BHF/HCl/NH4Cl/H2O溶液作为刻蚀液,刻蚀速率为0.016μm/s。实验表明,刻蚀得到的PZT薄膜图形表面无残留物,侧蚀比小...
关键词：锫钛酸铅PZT薄膜 湿法刻蚀 微图形化 
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