掩膜版

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基于V90伺服的机器人夹具在掩膜版行业的应用
《电子工业专用设备》2024年第2期12-19,共8页许鹏亮 熊启龙 
设计并实现了一种新型掩膜版机器人夹具,并将其成功应用于光刻掩膜版(Photomask)制造车间自动化产线中。该新型夹具采用了以Simens V90伺服作为夹具执行机构的解决方案,同时为了满足对无尘车间高洁净度的要求和对产品安全性保护,夹具采...
关键词：掩膜版 V90伺服 西门子1500PLC 机器人夹具 
EUV掩膜版的等离子刻蚀法
《电子工业专用设备》2010年第10期56-56,60,共2页
随着集成电路制造技术的进步,尽管CD已经接近物理和理论极限,其继续减小的趋势依旧延续着。无论如何,目前的光刻技术将在未来的几年之内达到极限,下一代使用更短波长的光刻技术即将进入人们的视线。
关键词：刻蚀法 等离子 掩膜版 EUV 理论极限 光刻技术 制造技术 集成电路 
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