FBAR

作品数：104被引量：125H指数：5
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相关机构：浙江大学中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
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A prototype portable instrument employing micro-preconcentrator and FBAR sensor for the detection of chemical warfare agents被引量：1
《Nanotechnology and Precision Engineering》2022年第1期43-48,共6页Xu Yan Hemi Qu Ye Chang Wei Pang Xuexin Duan 
The authors gratefully acknowledge financial support from the National Natural Science Foundation of China(NSFC Nos.62174119 and 21861132001);the National Key R&D Program of China(2018YFE0118700);Tianjin Applied Basic Research and Advanced Technology(17JCJQJC43600);the 111 Project(B07014);the Foundation for Talent Scientists of Nanchang Institute for Micro-technology of Tianjin University.
The presence of chemical warfare agents(CWAs)in the environment is a serious threat to human safety,but there are many problems with the currently available detection methods for CWAs.For example,gas chromatography–m...
关键词：Micro-preconcentrator Film bulk acoustic resonator Chemical warfare agent Microelectromechanical system 
FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路
《中国测试》2016年第11期60-64,共5页高杨 黄振华 蔡洵 
国家自然科学基金(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验开放课题基金(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金(14zxtk01)
为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段,导致BAW传感器读出电路难以实现的问题,将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源,以检测FBAR谐振频率,从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中,通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓...
关键词：体声波传感器 读出电路 薄膜体声波谐振器 振荡器 六端口反射计 
新型便携式薄膜体声波谐振气体传感器的研制与应用被引量：3
《纳米技术与精密工程》2016年第5期331-336,共6页唐宁 常烨 刘晶 屈贺幂 张代化 庞慰 段学欣 
基于MEMS工艺的新型阵列化薄膜体声波谐振器(FBAR),可实现对多种挥发性气体的高通量检测.本文通过对薄膜体声波谐振器表面进行不同的化学官能团修饰,形成了传感器阵列,挥发性气体可以在不同化学官能团修饰的器件界面进行选择性沉积,通...
关键词：便携式气体传感器 MEMS 薄膜体声波谐振器(FBAR) 超分子化学 
FBAR传感器信号处理电路的设计被引量：1
《微型机与应用》2013年第6期22-24,共3页秦杰 杨洋 熊娟 顾豪爽 
国家自然科学基金资金项目(61106070)
介绍了AIN薄膜体声波(FBAR)传感器以及信号处理电路的原理,着重设计了传感器的频率检测电路。频率检测电路采用VHDL语言对各个电路子模块编写相应的代码,并利用Quartus9.0完成了仿真。仿真结果表明,相对精度为10-6,达到了预期的设想,满...
关键词：FBAR 信号处理 VHDL 
WiMAX共存前端模块
《今日电子》2011年第7期61-61,共1页
AFEM-S257模块集合多种高性能技术来缩小PCB板尺寸，同时简化设计和制造过程。利用Avago专有的0．25μmGaAs增强模式PHEMTT艺和前沿的FBAR过滤技术，
关键词：前端模块 WIMAX 共存 过滤技术 PCB板 制造过程 FBAR 
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