氧化铝涂层

作品数：115被引量：336H指数：10
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等离子喷涂氧化铝涂层及刻蚀行为研究
《浙江冶金》2024年第4期22-26,共5页周夏凉 徐群飞 骆仁智 
0前言半导体产业是关系国家战略发展的核心产业,近年来获得飞速发展。集成电路作为半导体产业的核心,在其制造过程中有几百步工艺步骤,其中40~50%的工序要用到等离子体(phsma)技术,尤其是进行得最频繁的刻蚀工艺。刻蚀用等离子体都是化...
关键词：等离子体刻蚀 刻蚀工艺 集成电路 半导体产业 工艺步骤 刻蚀作用 容器壁 氧化铝涂层 
超声滚压镍基氧化铝涂层的微观结构及耐蚀性
《电镀与涂饰》2024年第12期68-73,共6页高瑛琦 赵国勇 许书铭 刘华一 臧珉 
山东省自然科学基金重点项目(ZR2020KE060)。
[目的]研究超声滚压工艺对镍基氧化铝涂层的微观结构及耐蚀性的影响。[方法]采用超音速火焰喷涂工艺在Q235钢基体表面制备了Ni60/Al_(2)O_(3)涂层,随后进行超声滚压强化处理,分别利用扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度计、X射线衍射仪(XRD...
关键词：超音速火焰喷涂 镍基氧化铝涂层 超声滚压 微观结构 硬度 表面粗糙度 耐蚀性 
等离子喷涂氧化铝涂层及微观形貌
《浙江冶金》2024年第3期15-17,23,共4页周夏凉 徐群飞 袁阳骆 仁智 左都云 陈利斌 
本实验采用大气等离子喷涂Al_(2)O_(3)粉末制备氧化铝陶瓷涂层。表征和分析了Al_(2)O_(3)陶瓷涂层的硬度、孔隙率、结合强度,物相组成及微观组织结构。结果表明:获得的Al_(2)O_(3)陶瓷涂层的孔隙率为2.39%,涂层组织较为致密,涂层界面呈...
关键词：等离子喷涂 Al_(2)O_(3) 显微硬度 结合强度 孔隙 
制备超疏水花瓣状氧化铝研究被引量：1
《合成材料老化与应用》2023年第6期42-45,48,共5页王天颖 王长亮 任佳奇 聂梓杏 
Young Elite Scientists Sponsorship Program by CAST(2022NRC001)。
采用溶胶-凝胶法和熔盐(Al_(2)(SO_(4))_(3)+Na_(2)SO_(4))反应法制备了花瓣状氧化铝(Al_(2)O_(3))涂层。通过SEM、XRD和FTIR对花瓣状Al_(2)O_(3)微纳米结构的形貌和相组成进行了表征,系统地研究了反应温度、反应时间、溶胶浓度和熔盐...
关键词：溶胶凝胶 熔盐反应 花瓣状结构 氧化铝涂层 超疏水 
锂电池正极材料烧结用匣钵防护涂层制备与性能研究
《热喷涂技术》2023年第3期91-98,共8页马沛莹 韩日飞 张鑫 彭浩然 
锂离子电池具有高能量密度、长寿命、轻量化和环保等诸多优点,是一种现代化、高效能的能量储存技术。锂离子电池正极材料的制备过程中需要匣钵作为容器进行高温烧结处理,匣钵在使用过程中会发生开裂、剥落等失效现象。提升匣钵的耐高温...
关键词：锂离子电池 匣钵 氧化铝涂层 热喷涂 
莫来石-氧化铝涂层增强氧化铝陶瓷基板制备及热导率/介电常数
《佛山陶瓷》2023年第7期93-95,共3页潘宏伟 
莫来石-氧化铝涂层可以显著提高氧化铝陶瓷基板的表面硬度和耐磨性,从而更好地保护基板表面。此外,该涂层还可以改善氧化铝陶瓷基板的耐高温性能,提高其在高温环境下的应用场景。本次研究中,相关工作人员详细探究莫来石-氧化铝涂层增强...
关键词：氧化铝 莫来石-氧化铝涂层 介电常数 
等离子喷涂氧化铝涂层的制备及微观结构研究被引量：1
《广西科技大学学报》2023年第2期116-121,共6页冷臻 林贤坤 梁兴华 杨新新 
广西自然科学基金项目(2020GXNSFAA297082);广西创新驱动发展专项资金项目(桂科AA18242036-2);国家自然科学基金项目(52161033);佛山桃园先进制造研究院开放课题项目(TYKF202203001);广东省现代表面工程技术重点实验室资助项目(2018KFKT01)资助。
为提高20钢表面的性能,采用大气等离子喷涂的方式在20钢表面制备了氧化铝绝缘陶瓷涂层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度计测试等方法分析了涂层的物相组成、微观组织结构和显微硬度等,对涂层截面图像进行了处理,...
关键词：大气等离子喷涂 Al_(2)O_(3)涂层 微观结构 孔隙率 显微硬度 
TiO_(2)的含量对氧化铝涂层绝缘性能的影响被引量：2
《铁道机车与动车》2022年第9期33-36,共4页王立新 赵志铎 韩书音 王瞾新 闻俊夫 
利用大气等离子喷涂技术在轴承钢GCr15上制备了不同成分的氧化铝及其复合涂层。采用SEM及EDS对涂层截面的显微形貌进行了表征,通过XRD表征了其显微结构,利用灰度法对比获得涂层样品的孔隙率大小并确定孔隙分布状态。使用万能电子试验机...
关键词：TiO_(2) 氧化铝涂层 电绝缘性能 
密封剂对氧化铝涂层性能的影响
《铁道机车与动车》2022年第7期23-26,I0001,I0002,共6页闻俊夫 王曌新 钟祥鸣 
利用大气等离子喷涂技术在GCr15钢上制备了氧化铝绝缘涂层,对比密封剂使用前后涂层力学性能和电绝缘性能的差异,研究了不同密封操作对涂层环境适应性能的影响。使用万能电子试验机对涂层的结合强度进行了检测,用DSC404F1热流型DSC对涂...
关键词：氧化铝涂层 密封 环境适应性能 
氧化铝涂层对Al_(2)O_(3f)/SiO_(2)复合材料弯曲性能的影响被引量：2
《兵器材料科学与工程》2022年第1期109-113,共5页慈吉良 张丽丽 杨亚聃 张剑 吕毅 赵英民 张昊 
以氧化铝纤维为增强体,采用缠绕成型工艺制备氧化铝纤维/石英基体(Al_(2)O_(3f)/SiO_(2))和氧化铝纤维/氧化铝涂层/石英基体(Al_(2)O_(3f)/Al_(2)O_(3)/SiO_(2))氧化物纤维增强陶瓷基复合材料。测试1200℃下的弯曲强度,用电子显微镜(SEM...
关键词：氧化铝纤维 石英基体 复合材料 涂层 力学性能 
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