IC制造

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IC制造作业调度及资源配置机制研究
《微电子学》2010年第6期893-898,共6页胡尊刚 严利人 周卫 刘志弘 
国家自然科学基金资助项目(60976013)
考察和分析了当前流行的IC作业调度的算法模式。在此基础上,将制造系统中的作业调度回归到本原意义上,即制造资源优化配置必须保证制造步骤得以实施,得出既处理待加工硅片,也处理加工设备的双资源调度路线。结合判决式实例(Benchmark),...
关键词：IC制造 作业调度 资源配置 
IC制造中的ARMA模型分析与动态工艺控制
《微电子学》2008年第2期187-191,共5页黄伟 窦维治 刘道广 严利人 
提出了动态工艺条件控制的概念,即通过引入自适应算法ARMA,可对集成电路制造工艺效果进行预测,并根据预测结果,对工艺条件加以实时的调整控制,达到改善成品率的目的。采用动态工艺条件控制,打破了几十年来IC制造的固定模式,是IC制造领...
关键词：半导体工艺 成品率 动态工艺控制 ARMA模型 时间序列预测 
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