ISFET

作品数：93被引量：69H指数：3
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全固态AlGaN/GaN ISFET pH传感器的温度特性被引量：2
《半导体技术》2018年第10期734-739,共6页戴雅琼 黄德佳 邢洁莹 潘郑州 张佰君 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0400100,2017YFB0400301);国家自然科学基金资助项目(61574173,61274039);广东省科技计划项目(2017B010112002)
制备了集成式全固态AlGaN/GaN异质结离子敏感场效应晶体管（ISFET）结构pH传感器,并研究了其温度特性。将惰性金属薄膜作为固态参比电极集成到pH传感器主体上,取代传统的外置玻璃参比电极,实现了对微升溶液pH值的测量。将ISFET pH传感...
关键词：ALGAN/GAN异质结 离子敏感场效应晶体管(ISFET) 全固态 PH传感器 阈值电压 
用于离子敏场效应晶体管的生化参比电极研究进展
《半导体技术》2016年第6期401-410,共10页张敬维 许明 赵丹 曾瑞雪 吴东平 
国家自然科学基金资助项目(61474028)
近20年来,基于半导体离子敏场效应晶体管(ISFET)的生化传感器研究越来越引起人们的关注,目前利用ISFET能够实现对p H、金属离子、血糖、基因和蛋白质等的检测。为了使检测结果准确,在检测过程中需要参比电极保持试液电势稳定。综述了IS...
关键词：离子敏场效应晶体管(ISFET) 生化传感器 参比电极 微型化 微流控 
磷钨酸涂覆ISFET制作DrugFET的研究被引量：1
《半导体技术》1998年第5期45-46,50,共3页李先文 黄强 
陕西省科学基金
用磷钨酸涂覆离子敏感场效应晶体管（ＩＳＦＥＴ）制成药物敏感场效应晶体管（ＤｒｕｇＦＥＴ）。该器件具有全固态化、易微型化、集成化和多功能化等特点。用其对药物制剂的含量进行测定，所得结果和药典分析结果一致。
关键词：磷钨酸 离子敏感 场效应晶体管 药物分析 ISFET 
等离子体聚合膜的制备及在ISFET中的应用
《半导体技术》1990年第2期32-34,40,共4页邵丙铣 金曼娜 邵红霖 
本文叙述了用等离子体辉光放电法将单体直接聚合成高分子膜,及淀积在半导体器件样品上的制备设备、方法、性能及应用结果。由于设备简单,操作方便,同半导体工艺相容及聚合膜有良好的抗水性及抗离子性,它在离敏器件中有一定的应用价值。...
关键词：等离子体 聚合膜 ISFET 应用 
多层结构ISFET传感器特性的研究
《半导体技术》1990年第1期11-14,共4页祁增芳 余剑平 
本文着重研究了Si_3N_4/SiO_2、Ta_2O_5/SiO_2、Ta_2O_5/Si_3N_4/SiO_2、Ta_2O_5/NAS/Si_3N_4/SiO_2等多层介质结构H^+-ISFET传感器的特性,给出了实验结果,并做了必要的分析讨论。
关键词：多层结构 ISFET 传感器 场效应晶体管 
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