KRF准分子激光

作品数：38被引量：50H指数：4
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相关机构：中国原子能科学研究院中国科学院哈尔滨工业大学中国科学院微电子研究所更多>>
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采用KrF准分子激光制备聚合酶链式反应微流控芯片被引量：8
《中国激光》2005年第8期1137-1142,共6页姚李英 刘保安 陈涛 刘世炳 左铁钏 
国家自然科学基金(50175002);北京市自然科学基金(3031001)资助项目。
采用价格便宜的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替价格昂贵的硅或者玻璃作为聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片的基片材料,采用柔性大、自动化程度高的准分子激光微加工方法代替加工工艺复杂的光刻化学腐蚀方法。通过对聚甲基丙烯酸甲酯准分子激...
关键词：激光技术 准分子激光 聚合酶链式反应微流控芯片 热键合 
248 nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制被引量：4
《中国激光》1997年第7期623-626,共4页陈根祥 程美乔 葛璜 简水生 王圩 
国家自然科学基金;863计划;国家博士点基金
实验研制了针对波长２４８ｎｍＫｒＦ准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。用双层掩蔽和图形转移技术，在双面抛光的石英基片上以ＣＨＦ３／Ｏ２为反应气体，用反应离子刻蚀技术制作了具有良好完整性、周期１．０８５μｍ的石英相位掩...
关键词：相位掩膜 反应离子刻蚀 光栅 激光技术 
X光预电离KrF准分子激光参量的研究
《中国激光》1990年第S1期12-15,共4页楼祺洪 董景星 魏运荣 丁泽安 霍芸生 
在紫外预电离准分子激光器中,KrF激光的脉冲能量一般大于XeCl激光脉冲能量。在X光预电离条件下,呈现相反的趋势。本文通过激光参量研究及动力学过程分析,解释了上述现象。
关键词：KRF准分子激光 X光预电离 
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