LDD结构

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二维短沟道SOI—MOSFET/LDD结构的阈值电压
《微电子学与计算机》1989年第6期29-31,共3页周婷俐 
本文提出了一种直稳态二维短沟道SOI-MOS PET/LDD结构的数值模型,所选用的基本方程是泊松方程、载流子的电流连续性方程和电流密度方程。该模型从SOI器件的结构出发,着重考虑了阈值电压随沟道长度的变化关系,提出了采用轻掺杂漏、源(LDD...
关键词:LDD结构 MOSFET 阈值电压 场效应管 
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