表面钝化

作品数:241被引量:469H指数:8
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碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量:6
《红外技术》2015年第10期864-867,共4页韩福忠 耿松 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 
国防基础科研项目
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功...
关键词:碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性 
长波HgCdTe红外探测器的暗电流机理研究进展被引量:8
《红外技术》2015年第5期353-360,379,共9页陈效双 许娇 胡伟达 王俊 陈勇国 黄燕 周孝好 陆卫 
国家自然科学基金重大项目;编号:61290301
介绍了HgCdTe红外探测器的发展历程,详细分析了长波HgCdTe红外探测器的暗电流机制、采用同时拟合方法对暗电流参数进行提取与分析,介绍了为降低暗电流的一些新的研究进展。
关键词:长波HgCdTe红外探测器 暗电流 非线性同时拟合方法 混合表面钝化 
碲镉汞探测器的表面钝化被引量:4
《红外技术》2001年第3期9-12,15,共5页朱惜辰 
讨论表面钝化的概念、特性和作用 ,比较各类钝化技术及用于碲镉汞红外探测器的适应性。
关键词:表面钝化 红外探测器 碲镉汞 
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