汤金春

作品数:2被引量:6H指数:1
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碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量:6
《红外技术》2015年第10期864-867,共4页韩福忠 耿松 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 
国防基础科研项目
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功...
关键词:碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性 
短波CMT红外光导探测器延伸电极的改进
《红外技术》2009年第2期84-86,94,共4页史琪 王向前 汤金春 铁筱滢 
针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大。为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性。又提出Ti/Au电极,比较...
关键词:功函数 Cr/Au电极 In/Au+Cr/Au电极 Ti/Au电极 
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