蒋俊

作品数：3被引量：6H指数：1
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发文主题：碲镉汞碲镉汞材料钝化层表面钝化复合膜层更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺更多>>
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碲镉汞表面处理中异常现象的分析及控制
《红外与毫米波学报》2023年第2期149-155,共7页刘艳珍 李树杰 张应旭 辛永刚 李志华 林阳 李雄军 秦强 蒋俊 郭建华 
Supported by Yunnan Science and Technology Talents and Platform Project(202105AD160047)。
表面处理是碲镉汞(HgCdTe)红外探测器芯片制作流程的开始,其效果会直接影响芯片的良品率。采用金相显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)分析手段,探究了碲镉汞表面处理工艺中四种典型的表面异常现象的成因,并提出了相应...
关键词：碲镉汞 表面处理 水痕缺陷 染色现象 圆斑现象 过粗糙现象 
长波碲镉汞材料表面的氢化处理研究
《红外技术》2018年第7期668-672,711,共6页林占文 韩福忠 耿松 李雄军 史琪 王海澎 王向前 蒋俊 
本文基于ICP方法对长波HgCdTe材料表面进行了氢化处理,首次在同一焦平面器件上实现了氢化工艺效果的对比。利用原子力显微镜(AFM)、低温探针台系统和焦平面测试系统对HgCdTe材料表面微观形貌及相关器件的电学特性进行了表征分析,结果表...
关键词：长波碲镉汞 氢化处理 AFM 界面电学特性 I-V 焦平面器件测试 
碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量：6
《红外技术》2015年第10期864-867,共4页韩福忠 耿松 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 
国防基础科研项目
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功...
关键词：碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性 
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