测辐射热计

作品数：210被引量：333H指数：8
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双牺牲层微测辐射热计最新研究进展被引量：3
《电子器件》2010年第3期303-307,共5页彭自求 王军 袁凯 蒋亚东 
电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助(KFJJ200805)
通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较...
关键词：微测辐射热计 双牺牲层 屋檐结构 伞状结构 隐藏桥腿结构 
微测辐射热计的优化设计被引量：5
《电子器件》2007年第4期1171-1174,共4页杨晓瑜 蒋亚东 吴志明 李素 文雯 
针对典型的50μm×50μm双层微桥结构的微测辐射热计单元的设计,分析了其红外吸收性能、热性能、力学支撑性能及相互间的折衷关系,指出微桥桥面的夹层结构的各层膜厚选取和桥腿宽度的选取是兼顾红外吸收和热、力性能的关键因素.以Si3N4/...
关键词：微测辐射热计 优化设计 红外吸收率 热性能 力学支撑性能 
用于测辐射热计热敏材料的多晶锗硅薄膜的研究被引量：1
《电子器件》2006年第4期1000-1003,共4页岳瑞峰 董良 刘理天 
国家自然科学基金资助项目(59995550-1);清华大学"985"基金资助
根据测辐射热计对热敏感材料的要求,采用超高真空化学气相淀积(UHVCVD)法制备出多晶Si0.7Ge0.3薄膜,研究了B离子注入剂量、退火工艺与电导率和电阻温度特性的相关性,因此确定出了最佳的工艺条件,并利用其制备出了探测率高达3.75×108cmH...
关键词：多晶锗硅薄膜 测辐射热计 UHVCVD 热敏材料 
室温红外探测器研究与进展被引量：3
《电子器件》2005年第2期415-420,431,共7页刘兴明 韩琳 刘理天 
简要概述了室温红外探测器技术的最新研究现状,首先根据工作机理的不同对红外探测器进行了分类,详细阐述了室温红外探测器的优点所在;接着在给出了室温红外探测器典型结构的基础上,对这些典型结构进行了比较和讨论;给出了最近出现的几...
关键词：室温红外探测器 测辐射热计 热释电 标准CMOS工艺 薄膜晶体管 
国外长波红外焦平面列阵现状被引量：5
《电子器件》1998年第4期266-273,共8页邵式平 肖绍泽 邵康 
文中介绍了长波红外焦平面列阵的国外进展，这些列阵包括碲镉汞光电二极管、肖特基势垒器件、砷化镓／砷铝镓多量子阱光导体、高温超导体以及室温工作的焦平面列阵。
关键词：红外探测器 光伏 测辐射热计 热释电 焦平面列阵 
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