超精密磨削

作品数：133被引量：635H指数：13
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半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第1期10-17,共8页刘赫男 秦彪 王廷章 田金川 陈明君 
国家重点研发计划(2018YFB1107600)。
半球谐振子作为半球谐振陀螺的核心部件,其加工精度和表面质量直接影响半球谐振陀螺的工作精度和使用寿命。为解决半球谐振子加工难题,提高半球谐振陀螺的性能,从半球谐振子的结构特征出发,对谐振子加工过程中的干涉进行理论分析;再根...
关键词：半球谐振子 超精密磨削 干涉分析 轨迹规划 加工工艺 
超声振动螺线磨削砂轮表面的功率谱密度分析被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2021年第1期58-64,共7页王秋燕 梁志强 白硕玮 吴勇波 贾顺 
国家自然科学基金资助项目(51705269,71701109)。
超声振动螺线磨削过程中,砂轮表面微观形貌的变化复杂。为准确表征其特征,采用功率谱密度分析方法,将砂轮表面的微观结构分解为不同频率、振幅和相位的谐波,对比分析不同磨削行程时普通磨削和超声振动螺线磨削砂轮表面的磨损行为。结果...
关键词：砂轮 超精密磨削 超声振动螺线磨削 功率谱密度 磨损行为 
工件旋转磨削磨粒切深解析模型分析被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2018年第2期89-93,共5页林彬 曹治赫 周平 康仁科 
国家自然科学基金项目(91323302;51475076);中央高校基本科研业务费(DUT14LAB02;DUT14LH003)
硬脆材料超精密磨削时的表面/亚表面损伤很大程度上由磨粒切削深度决定。为更好地仿真预测磨粒的切削深度,基于现有模型和实验结果之间的差异,分析预测切深偏小的问题。结合磨粒数偏差分析和单磨粒划擦实验结果,修正现有模型;修正后的...
关键词：硬脆材料 超精密磨削 磨粒切削深度 刃圆半径 最小切削厚度 
熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2018年第1期59-64,共6页周炼 谢瑞清 陈贤华 刘民才 王健 
科学挑战计划专题资助(No.JCKY2016212A506-0504);中国工程物理研究院质量与可靠性共性技术基础课题(No.80540)
为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"状深缺陷,...
关键词：金刚石砂轮 超精密磨削 砂轮截面轮廓 熔石英元件 亚表面缺陷 加工应力 
非球面垂直磨削法的砂轮误差分析与实验研究被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2017年第5期24-29,40,共7页陈冰 胡红禄 钟一星 李时春 邓朝晖 赵清亮 
国家自然科学基金资助项目(51705148);湖南科技大学博士启动基金(E56118)
针对垂直磨削法中砂轮误差对超精密磨削非球面加工质量的影响,通过对多种砂轮误差的逐一理论分析,阐述了各种砂轮误差对非球面磨削加工质量的影响状况,并对部分砂轮误差进行校正和补偿,以提高磨削加工质量。最后,通过非球面磨削加工实...
关键词：砂轮误差 超精密磨削 非球面磨削加工质量 校正和补偿 
先进光学磨削中杯形修整技术开发及应用被引量：11
《金刚石与磨料磨具工程》2009年第1期18-22,共5页王振忠 郭隐彪 黄浩 何良宇 
863计划重点项目(2008AA042501);福建省科技重大专项/专题(2006HZ0002-4)
对于金刚石砂轮修整,尤其是有高精度要求的圆弧金刚石砂轮,杯形砂轮修整技术可以获得较好的砂轮磨削性能以及修整效率。本文开发了配套超精密平面磨床使用的杯形修整器,分析了其机械误差影响,并完成了修整实验及砂轮表面测量及半径拟合...
关键词：超精密磨削 杯形砂轮 修整 表面质量 数据处理 
在线电解修整(ELID)超精密磨削中的金刚石磨具特性研究被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2006年第6期56-58,共3页金卫东 任成祖 王太勇 
江苏省高校自然科学研究指导性计划项目"工程陶瓷的在线电解修整(ELID)超精密磨削技术研究"资助。项目号为:"05KJD460017"
ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID...
关键词：在线电解修整(ELID) 超精密磨削 氮化硅 磨具特性 
大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究被引量：11
《金刚石与磨料磨具工程》2004年第4期1-4,共4页田业冰 郭东明 康仁科 金洙吉 
国家自然科学基金重大项目 (50 390 0 61 );国家"863计划"项目 (2 0 0 2AA42 1 2 30 )资助
利用基于自旋转磨削原理的硅片超精密磨床 ,通过试验研究了砂轮粒度、砂轮转速、工件转速及砂轮进给速度等主要因素对材料去除率、砂轮主轴电机电流以及磨削后硅片表面粗糙度的影响关系。研究结果表明 ,增大砂轮轴向进给速度和减小工件...
关键词：硅片 金刚石砂轮 超精密磨削 集成电路 
大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状被引量：60
《金刚石与磨料磨具工程》2003年第4期13-18,25,共7页康仁科 田业冰 郭东明 金洙吉 
国家自然科学基金资助项目 (50 2 90 1 0 1 );国家"863计划"项目 (2 0 0 2AA42 1 2 30 )
随着IC制造技术的飞速发展 ,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化 ,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度 ;与此相反 ,为了满足IC封装的要求 ,芯片的厚度却不断减小 ,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片...
关键词：IC芯片 硅片 超精密磨削 砂轮 磨床 集成电路 
工程陶瓷超精密磨削表面质量的研究被引量：14
《金刚石与磨料磨具工程》2002年第5期12-16,共5页于思远 林彬 林滨 林梦霞 
国家自然科学基金资助项目 (5 9975 0 6 9)
本文从几何和物理特性两方面研究了ZrO2 和Sialon陶瓷超精磨制削的表面质量。实验结果表明 ,金刚石砂轮磨粒尺寸和磨削深度对磨削表面的微观形貌如几何形态和表面纹理具有重要影响。超精密磨削的表面存在着残余应力 ,但其数值较小 ,残...
关键词：工程陶瓷 超精密磨削 表面质量 
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