谢瑞清

作品数：16被引量：68H指数：5
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供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
发文主题：光学元件抛光全口径面形误差大口径更多>>
发文领域：金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《振动与冲击》《制造技术与机床》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
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全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制
《光学精密工程》2024年第3期333-343,共11页廖德锋 张明壮 谢瑞清 赵世杰 许乔 
国家自然科学基金面上项目(No.52075507)。
全口径环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一,其瓶颈问题是元件面形的高效高精度控制。通过研究元件面形的影响因素及其控制方法从而提升其确定性控制水平。围绕影响面形误差的运动速度、抛光盘表面形状误差和钝化状态等关...
关键词：光学加工 全口径环形抛光 面形误差 影响规律 控制方法 
高功率激光光学元件超精密制造技术被引量：6
《光学学报》2022年第17期195-213,共19页许乔 陈贤华 汪圣飞 钟波 谢瑞清 王健 
用于惯性约束聚变的高功率固体激光装置需使用上万件大口径光学元件,激光装置极端的设计性能对光学元件提出了全空间频段(空间频率范围为μm^(-1)级至m^(-1)级)精度指标和高抗激光损伤的制造要求,形成确定性、高性能的强激光光学元件制...
关键词：测量 先进光学制造 高功率激光 超精密制造 
基于单颗粒作用模型的晶体材料研磨残余应力研究
《机械强度》2021年第3期596-600,共5页王晓博 谢瑞清 
国防基础科研科学挑战专题(TZ2016006-0501-01)资助。
为了明确激光晶体材料研磨表面残余应力形成机制,以典型的激光晶体材料YAG晶体为研究对象,利用大型有限元软件Ansys,建立了晶体元件研磨加工过程的单颗粒作用模型,研究了YAG晶体材料的塑性特性,分析了研磨过程中磨粒机械作用对晶体表面...
关键词：激光晶体 研磨 塑性特性 残余应力 有限元 单颗粒 
大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展被引量：12
《光电工程》2020年第8期1-13,共13页樊非 徐曦 许乔 王健 钟波 谢瑞清 雷向阳 陈贤华 汪圣飞 侯晶 邓文辉 安晨辉 周炼 赵世杰 廖德锋 朱玉洁 
国家科技重大专项(2017ZX04022001-101)
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重...
关键词：高功率固体激光装置 大口径光学元件 光学超精密制造技术 确定性抛光 
熔石英磨削砂轮截面轮廓分析与优化被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2018年第1期59-64,共6页周炼 谢瑞清 陈贤华 刘民才 王健 
科学挑战计划专题资助(No.JCKY2016212A506-0504);中国工程物理研究院质量与可靠性共性技术基础课题(No.80540)
为提高熔石英光学元件磨削加工质量,降低亚表面缺陷层深度,通过实验和理论分析发现,具有平直截面轮廓的平行金刚石砂轮,在加工熔石英光学元件时砂轮边缘位置处会产生加工应力集中,该应力集中直接导致了元件表面产生"连续白线"状深缺陷,...
关键词：金刚石砂轮 超精密磨削 砂轮截面轮廓 熔石英元件 亚表面缺陷 加工应力 
大口径平面光学元件的磁流变加工被引量：11
《光学精密工程》2016年第12期3054-3060,共7页侯晶 王洪祥 陈贤华 谢瑞清 邓文辉 唐才学 
科学挑战专题资金资助项目(No.JCKY2016212A506-0502)
为了实现大口径平面光学元件的高精度加工,开展了磁流变加工技术的研究。介绍了磁流变加工原理及去除函数的数学模型。根据磁流变加工的特点,建立了元件整体加工的工艺流程,给出了元件加工的工艺要素。然后,开发了抛光斑的提取软件,并...
关键词：平面光学元件 磁流变加工 抛光 面形精度 高功率激光器 
基于纳米压痕测试的激光晶体光学加工性能研究被引量：2
《人工晶体学报》2016年第7期1775-1780,共6页陈贤华 谢瑞清 侯晶 汪圣飞 张哲 赵世杰 廖德锋 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金自主重大项目(ZZ13003)
针对高功率固体激光器中使用的四类重要激光晶体(YAG、LBO、YCOB、KDP)元件,开展了晶体材料的光学加工性能研究。基于纳米压痕测试实验,研究了几种激光晶体材料在激光器实际使用晶向角度下的的表面力学特性差异,获得了载荷、弹性模量、...
关键词：激光晶体 光学加工 纳米压痕 力学特性 
大口径平面快速抛光机床误差模型研究被引量：1
《制造技术与机床》2015年第8期30-34,共5页谢瑞清 王健 陈贤华 廖德锋 赵世杰 
国家科技重大专项资助项目(2013ZX04006011-101)
介绍了大口径平面光学元件快速抛光机床的加工原理,分析了全口径抛光工艺中抛光模与工件之间的精度传递关系,并推导了修整器几何参数对抛光模修整精度及元件加工面形精度的影响规律。对大口径平面快速抛光机床的各项几何误差源进行了分...
关键词：光学元件 抛光 面形精度 机床误差 模型 
Nd:YAG晶体板条低透射波前误差加工技术被引量：1
《强激光与粒子束》2015年第6期171-176,共6页赵世杰 谢瑞清 廖德锋 陈贤华 王健 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室自主基金重大项目(ZZ13003)
针对高平均功率固体激光器对Nd:YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd:YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究。详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案。实验结果表明,在板条抛光阶段通过采...
关键词：ND:YAG晶体 板条 透射波前 光学加工 抛光 
高功率激光晶体加工技术的研究被引量：5
《强激光与粒子束》2014年第7期95-99,共5页侯晶 王洪祥 廖德锋 陈贤华 谢瑞清 王健 
国家自然科学基金联合基金项目(U1230110);国家科技重大专项(20132X04006011)
针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线。对不同种类晶体加工设计了不同...
关键词：激光晶体 加工技术 面形 粗糙度 
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