超硬效应

作品数：50被引量：203H指数：10
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调制结构对c-VC/h-TiB_2纳米多层膜的超硬效应的影响被引量：4
《物理学报》2013年第1期356-360,共5页李玉阁 李冠群 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:51071104);国家重点基础研究发展计划(批准号:2012CB619601)资助的课题~~
通过磁控溅射法制备了一系列不同调制结构的c-VC/h-TiB2纳米多层膜,采用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了纳米多层膜调制结构与超硬效应的关系.基于实验研究结果,建立了立方结构V...
关键词：纳米多层膜 超硬效应 调制结构 共格生长结构 
反应溅射HfC/Si_3N_4纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：3
《真空科学与技术学报》2011年第5期574-578,共5页张晶晶 许辉 祝新发 李冠群 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(U0774001)
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的HfC/Si3N4纳米多层膜,采用X射线光电子能谱、X射线衍射、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量,研究了Si3N4层厚度变化对纳米多层膜微结构与力学性能的影响。...
关键词：HfC/Si3N4 纳米多层膜 外延生长 超硬效应 
陶瓷硬质纳米多层膜研究进展被引量：17
《无机材料学报》2010年第2期113-119,共7页孔明 岳建岭 李戈扬 
国家自然科学基金(U0774001);国家科技支撑计划(2008BAF32B06)
陶瓷纳米多层膜因具超硬效应而成为近年的研究热点.本文对这类人工材料的研究进展和存在的不足进行了评述,并展望了进一步研究的方向.二十年来,陶瓷纳米多层膜的实验研究已取得明显进展:在微结构特征方面,两调制层形成共格外延生长结构...
关键词：纳米多层膜 超硬效应 共格生长 模板效应 强化机制 
Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量：3
《物理学报》2009年第4期2654-2659,共6页乌晓燕 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:U0774001)资助的课题~~
采用反应磁控溅射法制备了一系列具有不同Si3N4层厚度的AlN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.研究了Si3N4层在AlN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长结...
关键词：AlN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 赝晶体 超硬效应 
AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能被引量：7
《物理学报》2008年第12期7776-7782,共7页喻利花 董师润 许俊华 
国家自然科学基金(批准号:50574044)资助的课题~~
用射频磁控溅射法制备了AlN,BN单层膜及AlN/BN纳米多层膜.采用X射线衍射仪、高分辨率透射电子显微镜和纳米压痕仪对薄膜结构进行表征.分析表明:单层膜AlN为w-AlN结构,BN为非晶相.AlN/BN多层膜中BN的结构与BN层厚有关.当BN层厚小于0.55nm...
关键词：AlN/BN多层膜 BN结构 超硬效应 
TaN/TiN和NbN/TiN纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究被引量：15
《物理学报》2008年第11期7063-7068,共6页喻利花 董师润 许俊华 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:50574044)资助的课题~~
采用射频磁控溅射方法制备单层TaN,NbN和TiN薄膜和不同调制周期的TaN/TiN和NbN/TiN纳米多层膜.薄膜采用X射线衍射仪、高分辨率透射电子显微镜和显微硬度仪进行表征.结果表明TaN/TiN和NbN/TiN纳米多层膜在一定的调制周期范围内均呈共格界...
关键词：TaN/TiN纳米多层膜 NbN/TiN纳米多层膜 外延生长 超硬效应 
AlN/Si3N4纳米多层膜的外延生长与力学性能被引量：12
《物理学报》2008年第8期5151-5158,共8页喻利花 董松涛 董师润 许俊华 
国家自然科学基金(批准号:50574044)资助的课题~~
采用射频磁控溅射方法制备单层AlN,Si3N4薄膜和不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜.采用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和纳米压痕仪对薄膜进行表征.结果发现,多层膜中Si3N4层的晶体结构和多层膜的硬度依赖于Si3N4层的厚度.当AlN层...
关键词：AlN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 应力场 超硬效应 
AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性被引量：3
《无机材料学报》2008年第3期562-566,共5页吴莹 赵文济 孔明 黄碧龙 李戈扬 
国家自然科学基金(50571062)
采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/...
关键词：AlN/SiO2纳米多层膜 外延生长 超硬效应 抗氧化性 
TiN／Si_3N_4纳米晶复合膜的微结构和强化机制被引量：13
《无机材料学报》2007年第3期539-544,共6页孔明 赵文济 乌晓燕 魏仑 李戈扬 
国家自然科学基金(50571062)
采用高分辨透射电子显微镜对高硬度的TiN／Si3N4纳米晶复合膜的观察发现,这类薄膜的微结构与Veprek提出的nc-TiN／a-Si3N4模型有很大不同;复合膜中的TiN晶粒为平均直径约10nm的柱状晶,存在于柱晶之间的Si3N4界面相厚度为0．5-0．7nm,呈...
关键词：TiN/Si3N4纳米晶复合膜 纳米多层膜 界面相 晶体化 超硬效应 
反应溅射VN/SiO_2纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：8
《物理学报》2007年第3期1568-1573,共6页岳建岭 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:50571062)资助的课题.~~
采用V和SiO2靶通过反应溅射方法制备了一系列具有不同SiO2和VN调制层厚的VN/SiO2纳米多层膜.利用X射线衍射、X射线能量色散谱、高分辨电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.结果表明:在Ar,N2混和气体中,射频反应溅射的...
关键词：VN/SiO2 纳米多层膜 共格外延生长 非晶晶化 超硬效应 
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