云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 低压化学气相淀积

低压化学气相淀积: 作品数：26被引量：46H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：李仁锋谭刚吴嘉丽周再发徐大为更多>>; 相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>; 相关期刊：《半导体技术》《中国工程物理研究院科技年报》《赣南师范大学学报》《集成电路通讯》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划河北省自然科学基金更多>>

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