低压化学气相淀积

作品数：26被引量：46H指数：4
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：李仁锋谭刚吴嘉丽周再发徐大为更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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中国科学院微电子研究所
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作品数：3471被引量：7854H指数：21
发文主题：半导体器件 沟道 衬底 半导体 刻蚀
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 机械工程
中国工程物理研究院电子工程研究所
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作品数：2577被引量：7216H指数：24
发文主题：热电池 太赫兹 引信 仿真 微电子机械系统
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 理学 一般工业技术
东南大学
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作品数：150244被引量：652871H指数：144
发文主题：数值模拟 性能研究 神经网络 网络 优化设计
发文领域：医药卫生 自动化与计算机技术 建筑科学 经济管理 电子电信
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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作品数：147被引量：173H指数：7
发文主题：半导体器件 半导体结构 栅极结构 刻蚀 介质层
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 文化科学 金属学及工艺 电气工程
中国电子科技集团第十三研究所
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作品数：2423被引量：4126H指数：17
发文主题：芯片 GAN 衬底 半导体器件 校准
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 一般工业技术
东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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作品数：397被引量：910H指数：11
发文主题：MEMS 微机电系统 MEMS器件 硅 CMOS
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 理学 一般工业技术
东南大学电子科学与工程学院
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作品数：3313被引量：7548H指数：23
发文主题：MEMS 毫米波 电磁散射 碳纳米管 宽带
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 电气工程
西安理工大学
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作品数：41762被引量：174579H指数：84
发文主题：数值模拟 高校 力学性能 性能研究 大学生
发文领域：自动化与计算机技术 经济管理 水利工程 电气工程 文化科学
南京大学
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作品数：182527被引量：962445H指数：219
发文主题：实证研究 企业 城市 影响因素 高校
发文领域：经济管理 文化科学 政治法律 医药卫生 自动化与计算机技术
哈尔滨工业大学
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作品数：111887被引量：482530H指数：116
发文主题：数值模拟 力学性能 性能研究 复合材料 机器人
发文领域：自动化与计算机技术 建筑科学 经济管理 电子电信 金属学及工艺
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