低压化学气相淀积

作品数：26被引量：46H指数：4
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相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164202被引量：8320308H指数：431
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家杰出青年科学基金
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作品数：32544被引量：307619H指数：138
相关主题：数值模拟 稳定性 力学性能 有限元 影响因素
相关领域：医药卫生 自动化与计算机技术 理学 天文地球 建筑科学
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1394178H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
国家杰出青年科学基金(50325519)
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作品数：36被引量：61H指数：4
相关主题：元胞自动机 微机电系统 各向异性腐蚀 微加工技术 计算机仿真
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程
国家重点基础研究发展计划
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作品数：273390被引量：1705681H指数：254
相关主题：数值模拟 英文 力学性能 气候变化 影响因素
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
国家自然科学基金(60236010)
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作品数：32被引量：90H指数：5
相关主题：MANET 库仑阻塞 OES 等离子体 密钥管理
相关领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 一般工业技术 机械工程
国家高技术研究发展计划(2005AA404210)
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作品数：13被引量：33H指数：4
相关主题：MEMS MEMS技术 RF_MEMS开关 传感器 微悬臂梁
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术
国家高技术研究发展计划(2002AA404470)
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作品数：6被引量：23H指数：3
相关主题：高温压力传感器 通用型 SIMOX 恒流源 惠斯登电桥
相关领域：自动化与计算机技术
国家自然科学基金(60136020)
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作品数：33被引量：81H指数：5
相关主题：GAN X XGA MOCVD 二维电子气
相关领域：电子电信 理学 机械工程
国家重点基础研究发展计划(G20000683)
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作品数：91被引量：240H指数：8
相关主题：GAN XGA X 氮化镓 MOCVD
相关领域：电子电信 理学 一般工业技术 电气工程 机械工程
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