国家杰出青年科学基金(50325519)

作品数：36被引量：61H指数：4
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相关期刊：《中国集成电路》《仪器仪表学报》《传感技术学报》《中国机械工程》更多>>
相关主题：元胞自动机微机电系统各向异性腐蚀微加工技术计算机仿真更多>>
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一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型被引量：4
《仪器仪表学报》2007年第12期2169-2173,共5页张鉴 黄庆安 李伟华 
国家杰出青年科学基金(50325519);合肥工业大学博士学位专项基金(108-035026)资助项目
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀在目前的硅微机械加工中应用十分广泛。在这一加工过程中,存在着影响结构拓扑特性、被加工结构性能的一些效应,SOI结构中的Footing效应就是其中之一。本文在利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP刻蚀...
关键词：电感耦合等离子体刻蚀 Footing效应 表面描述方程 模型 模拟 
SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法
《Journal of Semiconductors》2007年第12期2011-2017,共7页朱真 黄庆安 李伟华 周再发 冯明 
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
基于SU-8胶的UV-LIGA技术是MEMS中制备高深宽比结构的一种重要方法,但由于衍射效应会使结构的侧壁不再垂直.根据菲涅耳衍射模型,考虑了丙三醇/SU-8界面的反射和折射现象,模拟了丙三醇填充在掩膜版和光刻胶之间时的刻蚀图形.计算结果与...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 丙三醇 
考虑高指数晶面的体硅腐蚀模拟新CA模型被引量：2
《Journal of Semiconductors》2007年第5期731-736,共6页周再发 黄庆安 李伟华 邓伟 
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
针对目前体硅腐蚀(硅各向异性腐蚀)的3DCA模型无法引入(211),(311),(331),(411)等较多高密勒指数晶面,模拟精度不高的问题,建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新3D连续CA(元胞自动机)模型.模型可以有效引入(211),(311),(331),(411)等高...
关键词：元胞自动机 腐蚀模拟 微机电系统 微加工技术 各向异性腐蚀 
MEMS器件三维描述与节点单元提取方法的研究
《传感技术学报》2007年第2期302-307,共6页邓伟 李伟华 
国家杰出青年科学基金资助(50325519)
设计了一种基于节点法模拟的MEMS(Microelectromechanicalsystem)仿真软件,构思了该软件六模块的结构组成,并提出了前三块的具体实现方法,包括实现MEMS器件三维描述与节点单元提取的方法.结合加工工艺流程与参数,实现了从版图到三维立...
关键词：MEMS器件 节点法 三维结构 提取算法 版图 
MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计
《测控技术》2007年第1期12-14,20,共4页李巧萍 李伟华 聂萌 刘祖韬 
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统。该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力。测试系统最大可测...
关键词：MEMS 在线测试 吸合电压 数据采集 
Si-Si直接键合的杂质分布被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第11期2051-2055,共5页陈新安 黄庆安 
国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA404010);国家杰出青年科学基金(批准号:50325519)资助项目~~
在Si-Si直接键合过程中,界面处存在一层很薄的厚度恒定的本征SiO2.Si对SiO2中的杂质的抽取效应,导致了杂质在界面处的浓度大大降低,根据改进了的杂质在Si-Si直接键合片中分布模型,推导出了杂质分布的表达式,在理论上和实验上都对该式进...
关键词：Si-Si直接键合 抽取效应 本征SiO2 
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟被引量：3
《微纳电子技术》2006年第11期541-545,共5页陈新安 黄庆安 
国家863计划项目(2003AA404010);国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
根据Suhir的双金属带的热应力分布理论,建立了Si/Si直接键合界面应力模型,推导出了由于高温引起的正应力、剪切应力和剥离应力的解析方程。并且应用模拟软件Matlab对热应力进行了模拟,直观地表现了键合界面应力的大小及其分布情况,对键...
关键词：Si/Si直接键合 界面应力 模型 模拟 
电感耦合等离子体(ICP)深刻蚀的模型与模拟被引量：7
《仪器仪表学报》2006年第10期1342-1346,共5页张鉴 黄庆安 李伟华 
国家杰出青年科学基金(50325519)资助项目
为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"线算...
关键词：电感耦合等离子体 交替复合深刻蚀 模型 模拟 
牺牲层腐蚀二维数值模拟与仿真被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第7期1321-1325,共5页李艳辉 李伟华 
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
建立了基于扩散方程的二维腐蚀模型,并给出相应的边界条件.为求解二维扩散方程,分别给出了有限差分显式和隐式求解算法.得到了每一时刻溶液在具体位置的浓度值,再由Topography模型计算腐蚀前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进轮廓线.编程...
关键词：牺牲层腐蚀 扩散方程 差分算法 
MEMS器件自动优化算法
《传感技术学报》2006年第05A期1372-1375,共4页赖文滨 李伟华 
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519)
研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通...
关键词：MEMS器件 自动优化算法 结构参数 悬臂梁 
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