国家高技术研究发展计划(2002AA404470)

作品数：6被引量：23H指数：3
导出分析报告
相关作者：王权丁建宁蒋庄德赵立波赵玉龙更多>>
相关机构：江苏大学西安交通大学中国科学院更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《仪器仪表学报》《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》更多>>
相关主题：高温压力传感器通用型SIMOX恒流源惠斯登电桥更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
通用型高温压阻式压力传感器研究被引量：5
《中国机械工程》2005年第20期1795-1798,共4页王权 丁建宁 王文襄 薛伟 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404470);国家"九五"传感器技术攻关项目(96-748-02-01/07);浙江省科技攻关计划资助项目(2005C31048)
针对石油化工等领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅芯片,采用SIMOX技术SOI晶片,在微加工平台上制作了硅芯片。对不同的用户工况设计了装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消...
关键词：高温压力传感器 SIMOX 耐高温封装 补偿电路 
基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第8期1595-1598,共4页王权 丁建宁 王文襄 熊斌 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA404470);国家"九五"传感器技术攻关(批准号:96-748-02-01/07)资助项目~~
针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求，设计了压阻式压力传感器敏感芯片，采用SIMOX技术的SOI晶片，在微加工平台上通过低压化学气相淀积法（LPCVD）均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体（ICP）...
关键词：高温压力传感器 SIMOX 低压化学气相淀积 电感耦合等离子体深刻蚀 
通用型耐高温微型压力传感器封装工艺研究被引量：3
《仪表技术与传感器》2005年第6期6-7,共2页王权 丁建宁 王文襄 
国家高技术研究发展计划("八六三"计划)MEMS重大专项资助(2002AA404470);国家"九五"传感器技术攻关项目(96-748-02-01107)
针对通用型高温微型压力传感器的测量要求,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si2-Ti-Pt-Au合金化引线系统,解决了高温压力传感器引线的难点。制作了静电键合实验装置,完成了硅/玻璃环...
关键词：高温压力传感器 引线 静电键合 热压焊 耐高温封装 
高温压力传感器温度漂移补偿研究被引量：9
《传感器技术》2005年第2期13-15,共3页王权 丁建宁 王文襄 范真 
国家 863计划MEMS重大专项资助项目(2002AA404470);国家"九五"传感器技术攻关产业化项目(96-748-02-01 /07)
针对高温压力传感器耐高温和高压的测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片,在微加工平台上制作了该芯片,获得了差动等臂等应变的惠斯登检测电桥。...
关键词：高温压力传感器 惠斯登电桥 恒流源 温度系数补偿 
基于SIMOX技术的高温压力传感器研制被引量：3
《仪器仪表学报》2004年第2期149-151,共3页赵玉龙 赵立波 蒋庄德 
国家 8 63计划 MEMS预启动基金项目 (10 1- 0 1) ;国家 863计划 MEMS重大专项资助 (2 0 0 2 AA40 44 70 )
应用氧离子注入 (Separation by Implantation of Oxygen) SIMOX技术 ,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离 (SOI)压力敏感元件。采用了一种新型梁膜结合封装工艺 ,有效地解决了被测压力高温冲击问题 ,可应用于航空、航天发动...
关键词：氧离子注入 SIMOX技术 高温压力传感器 研制 硅隔离 封装 
高温压力传感器技术研究被引量：2
《机械工程学报》2002年第z1期70-72,共3页赵玉龙 赵立波 蒋庄德 
国家"863"计划资助项目(2002AA404470)
提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器,采用耐高温SOI力敏元件以及梁膜组合设计,保证传感器有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力。研制的耐高温压力传感器可以用于0～220℃恶劣环境条件下的压力测量,并能解决1000℃的...
关键词：高温压力传感器 梁膜组合设计 瞬时冲击 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部