国家自然科学基金(60236010)

作品数:32被引量:90H指数:5
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相关作者:刘明王太宏陈大鹏叶甜春谢常青更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中国科学院北京理工大学南京大学更多>>
相关期刊:《微细加工技术》《Chinese Journal of Electronics》《红外与激光工程》《通信学报》更多>>
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One-Time Programmable Metal-Molecule-Metal Device
《Journal of Semiconductors》2008年第10期1928-1931,共4页商立伟 刘明 涂德钰 甄丽娟 刘舸 
国家自然科学基金(批准号:60676001,60676008,60236010,60290081);国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB806204)资助项目~~
A one-time programmable metal-molecule-metal device, with a modified Rotaxane LB film as the functional layer, is proposed for potential use in organic programmable and fault tolerant circuits like inorganic anti-fuse...
关键词:molecular device FPGA ROTAXANE PROGRAMMABLE 
基于OES的等离子体刻蚀过程被引量:3
《红外与激光工程》2008年第4期748-751,共4页王巍 王玉青 孙江宏 兰中文 龚云贵 
国家自然科学基金重点资助项目(60236010);重庆邮电大学校基金资助项目(A2006-01)
光学发射光谱(OES)诊断技术是高密度等离子体刻蚀工艺过程的关键技术,OES信号作为一种实时信号可以用来预测刻蚀过程的进展程度和判断刻蚀性能的好坏。在自行研发的等离子体刻蚀机平台上,采用美国海洋公司的OES传感器系统,采集多晶硅刻...
关键词:等离子体刻蚀 OES 终点检测 PCA 
CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文)
《电子器件》2008年第2期385-388,共4页李金儒 陈宝钦 刘明 赵珉 
国家自然科学基金资助(60236010,90207004,60290081,90401002,60276019);自然科研基金项目资助(G2000036504,2002CB31190,2002AA325040)
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割...
关键词:数据格式转换 任意多边形 切割法 CIF 算法 WINDOWS操作系统 矩形 软件运行 
等离子体刻蚀工艺中的OES监控技术被引量:1
《红外与激光工程》2008年第2期326-329,共4页王巍 兰中文 吴志刚 孙江宏 龚云贵 姬洪 柏杨 
国家自然科学基金资助项目(60236010);重庆邮电大学博士启动基金资助项目(A2006-01)
采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用。实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl2为刻蚀气体进行多晶...
关键词:等离子体刻蚀 OES 故障诊断 终点检测 
Organic,Bistable Devices with AgTCNQ Charge Transfer Complex by Vacuum Co-Deposition
《Journal of Semiconductors》2008年第1期50-54,共5页涂德钰 姬濯宇 商立伟 刘明 王丛舜 胡文平 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB806204);国家自然科学基金(批准号:60676001,60676008,60236010,60290081)资助项目~~
The AgTCNQ thin-film was prepared by vacuum vapor co-deposition and characterized by infrared spectral analysis,and then a uniform AgTCNQ (TCNQ-- 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane) thin-film layer was sandwiched in a...
关键词:organic electronics bistable switching crossbar memory 
90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量:2
《Journal of Semiconductors》2007年第10期1611-1614,共4页张庆钊 谢长青 刘明 李兵 朱效立 
国家自然科学基金(批准号:60236010;60376020);国家重点基础研究发展计划(批准号:G200036504)资助项目~~
通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外...
关键词:等离子体 鞘层理论 干法刻蚀 朗谬尔探针 
基于二叉树和自组织思想的密钥管理技术在MANET中的应用
《通信学报》2006年第9期53-57,共5页王顺满 陶然 王越 
国家自然科学基金资助项目(60236010);部委重点基金资助项目(6140445);高等学校优秀青年教师基金资助项目~~
提出了基于二叉树和自组织公钥体制的密钥管理方案在MANET中的应用;给出了子图选择和最佳路径选择算法,根据最佳路径算法提出了星形最佳路径选择算法,在没有中心控制节点控制下实现安全密钥交换;仿真结果证明,该方案具有比较灵活的扩展...
关键词:MANET 二又树 自组织 密钥管理 
减少MANET网络密钥管理自我恢复过程数据包规模方法研究被引量:2
《通信学报》2006年第4期136-140,共5页王顺满 陶然 王越 
国家自然科学基金资助项目(60236010);部委重点资助项目(6140445);高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划~~
针对MANET网络动态拓扑和节点处理能力弱等情况,提出了适合MANET网络环境并具有自我恢复功能的密钥管理方法,该方法有效降低系统通信负荷,并可降低数据包的规模,这对通信信道非常有限的MANET网络非常有用;同时对该方法的系统安全性给出...
关键词:MANET 自我恢复 密钥管理 数据包规模 通信负荷 
An Efficient Key Agreement Framework to MANET
《Defence Technology(防务技术)》2006年第1期67-72,共6页王顺满 陶然 王越 
SponsoredbyNationalNatureScienceFoundationofChina(60236010);MinisterialFoundationProjectofChina(6140445);TeachingandResearchAwardforOutstandingYoungTeachersinHigherEducationInsitutionsofMinistryofEducationofChina.
Protocols for key management are compared and evaluated from the point of view on mobile ad hoc networks (MANET). The issues of fault-tolerance and efficiency of key distribution protocols for group communications in ...
关键词:移动网络 MANET 网络节点 系统安全 
Two-Dimensional Static Numerical Modeling and Simulation of AlGaN/GaN HEMT
《Journal of Semiconductors》2006年第2期298-303,共6页薛丽君 夏洋 刘明 王燕 邵雪 鲁净 马杰 谢常青 余志平 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2002CB311907,G200036504);国家自然科学基金(批准号:60236010)资助项目~~
AIGaN/GaN HEMTs are investigated by numerical simulation from the self-consistent solution of Schr6dinger-Poisson-hydrodynamic (HD) systems. The influences of polarization charge and quantum effects are considered i...
关键词:AIGaN/GaN HEMT 2D modeling and simulation polarization charges quantum effects 
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