国家高技术研究发展计划(2005AA404210)

作品数：13被引量：33H指数：4
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相关作者：陈大鹏叶甜春欧毅焦斌斌黄钦文更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学技术大学北京信息技术应用研究所山东大学更多>>
相关期刊：《电子工业专用设备》《微纳电子技术》《电子器件》《微细加工技术》更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
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基于SOI Si片的二极管红外探测器被引量：4
《微纳电子技术》2009年第9期525-529,共5页何伟 陈大鹏 明安杰 黄卓磊 欧毅 焦斌斌 薛惠琼 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA404210);国家自然科学基金资助项目(60576053)
介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模...
关键词：红外热成像 红外探测器 二极管 SOI 温度灵敏度 
微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用被引量：1
《电子工业专用设备》2008年第6期10-14,共5页朱清溢 李志刚 欧毅 黄钦文 陈大鹏 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210)
微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用...
关键词：微悬臂梁 传感器 读出技术 
氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响被引量：1
《电子器件》2007年第6期1981-1984,共4页黄钦文 吴军 陈大鹏 陈永胜 叶甜春 
国家自然科学基金资助项目(60576053);国家"863"计划资助项目(2005AA404210)
碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水...
关键词：碳纳米管 吸附 氧化 气体传感器 化学气相淀积 
基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
《电子工业专用设备》2007年第1期15-17,61,共4页刘茂哲 景玉鹏 李全宝 焦斌斌 黄钦文 李超波 欧毅 陈大鹏 叶甜春 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单...
关键词：射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动 
电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2
《电子工业专用设备》2007年第1期18-20,30,共4页李全宝 景玉鹏 刘茂哲 陈大鹏 欧毅 马瑾 叶甜春 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053);国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。
关键词：RF MEMS技术 RF MEMS开关 电磁驱动 工作电压 驱动力 
基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
《电子工业专用设备》2007年第1期6-9,共4页史海涛 欧毅 陈大鹏 张青川 伍小平 焦斌斌 李超波 罗小光 由春娟 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210)
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。
关键词：非制冷红外成像 MEMS 双材料微悬臂梁阵列 光学读出 
基于微悬臂梁结构的生化传感器被引量：3
《电子工业专用设备》2006年第1期36-38,共3页黄钦文 陈大鹏 叶甜春 欧毅 张青川 李凯 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053);国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210)
微悬臂梁是一种结构简单、易于进行微加工以及大量生产的传感器结构。当分子吸附在微悬臂梁表面之后,微悬臂来的弯曲以及振荡频率都会发生变化,这使微悬臂梁在化学和生物的实时探测方面非常具有吸引力。采用光学方法探测微悬臂梁的偏转...
关键词：微悬臂梁 传感器 表面应力 
微系统的代工制造及产业发展前景
《电子工业专用设备》2006年第1期8-11,共4页陈大鹏 叶甜春 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053);国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210)
微系统市场发展的巨大潜力吸引了众多的制造公司和研发机构参与其中,虽然现阶段微系统仍然面临着从设计仿真,到代工制造和封装等的一系列行业标准的缺乏问题,可供微系统选择的商业发展模式也悬而未定,但是,技术的发展终将克服现有问题,...
关键词：微系统 设计仿真 封装 行业标准 
基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列被引量：7
《Journal of Semiconductors》2006年第1期150-155,共6页李超波 焦斌斌 石莎莉 叶甜春 陈大鹏 张青川 郭哲颖 董凤良 伍小平 
国家自然科学基金(批准号:60236010);国家高技术研究发展计划(批准号:2005AA404210)资助项目~~
选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制...
关键词：微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差 
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