低压化学气相淀积

作品数：26被引量：46H指数：4
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：李仁锋谭刚吴嘉丽周再发徐大为更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《半导体技术》《中国工程物理研究院科技年报》《赣南师范大学学报》《集成电路通讯》更多>>
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《半导体技术》
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作品数：8069被引量：10790H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《集成电路通讯》
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作品数：864被引量：398H指数：6
主办单位：中国兵器工业第214研究所
发文主题：集成电路 电路设计 LTCC MEMS 版图设计
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 机械工程
《半导体光电》
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作品数：5786被引量：11414H指数：26
issn：1001-5868cn：50-1092/TN
主办单位：重庆光电技术研究所
发文主题：半导体激光器 CCD 光纤 光纤光栅 光纤通信
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
《固体电子学研究与进展》
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作品数：3704被引量：4422H指数：13
issn：1000-3819cn：32-1110/TN
主办单位：南京电子器件研究所
发文主题：GAAS 砷化镓 硅 GAN 氮化镓
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9327被引量：11386H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《中国机械工程》
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作品数：16363被引量：90088H指数：66
曾用名：机械工程
issn：1004-132Xcn：42-1294/TH
主办单位：中国机械工程学会
发文主题：故障诊断 数值模拟 仿真 遗传算法 优化设计
发文领域：机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺 交通运输工程 一般工业技术
《赣南师范大学学报》
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作品数：2124被引量：1789H指数：9
曾用名：赣南师范学院学报
issn：2096-7659cn：36-1346/C
主办单位：赣南师范大学
发文主题：客家 中央苏区 来稿须知 教育部办公厅 一稿多投
发文领域：文化科学 理学 文学 经济管理 历史地理
《河北大学学报（自然科学版）》
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作品数：4255被引量：9307H指数：24
issn：1000-1565cn：13-1077/N
主办单位：河北大学
发文主题：介质阻挡放电 英文 蜘蛛目 鞘翅目 动力学
发文领域：理学 生物学 自动化与计算机技术 农业科学 医药卫生
《高技术通讯》
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作品数：6799被引量：18565H指数：31
issn：1002-0470cn：11-2770/N
主办单位：中国科学技术信息研究所
发文主题：863计划 作者投稿指南 机器人 神经网络 投稿指南
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 生物学 农业科学 机械工程
《导航与控制》
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作品数：1623被引量：2176H指数：15
曾用名：惯导与仪表
issn：1674-5558cn：11-5804/V
主办单位：北京航天控制仪器研究所
发文主题：光纤陀螺 激光陀螺 惯性技术 组合导航 加速度计
发文领域：航空宇航科学技术 电子电信 交通运输工程 自动化与计算机技术 机械工程
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