光学光刻

作品数：103被引量：209H指数：8
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：谢常青刘明陈大鹏童志义陈宝钦更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院信越化学工业株式会社四川大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《电子科技文摘》《电子显微学报》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164202被引量：8320308H指数：431
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家重点基础研究发展计划
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作品数：273390被引量：1705681H指数：254
相关主题：数值模拟 英文 力学性能 气候变化 影响因素
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
国家自然科学基金(10674134)
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作品数：9被引量：28H指数：4
相关主题：光学光刻 相位展开 干涉图 光学测量 泊松方程
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 一般工业技术
国家重点基础研究发展计划(2003CB716204)
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作品数：75被引量：183H指数：6
相关主题：微细电火花加工 电子传输 富勒烯 分子 电火花线切割加工
相关领域：理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程 自动化与计算机技术
国家科技重大专项
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作品数：155256被引量：842058H指数：181
相关主题：数值模拟 鄂尔多斯盆地 影响因素 煤层气 页岩气
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
国家重点实验室开放基金
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作品数：42703被引量：259132H指数：102
相关主题：数值模拟 性能研究 力学性能 复合材料 遗传算法
相关领域：理学 自动化与计算机技术 天文地球 电子电信 农业科学
国家自然科学基金(70639002)
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作品数：129被引量：755H指数：14
相关主题：新兴技术 战略网络 实证研究 文献计量分析 奥运科技
相关领域：经济管理 文化科学 自动化与计算机技术 社会学 环境科学与工程
北京科技计划项目(207001000560709)
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作品数：1被引量：14H指数：1
相关主题：光学光刻 科技管理 协同进化 种群增长 种群演化
相关领域：生物学 经济管理
中国博士后科学基金(20100470052)
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作品数：2被引量：3H指数：1
相关主题：SIGMOID函数 光学光刻 解析模型 离轴照明 离轴
相关领域：电子电信 理学 金属学及工艺
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1394178H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
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