光学光刻

作品数：103被引量：209H指数：8
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：谢常青刘明陈大鹏童志义陈宝钦更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院信越化学工业株式会社四川大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《电子科技文摘》《电子显微学报》更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4721H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《集成电路应用》
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作品数：16757被引量：13785H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2061H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《微纳电子技术》
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作品数：4620被引量：7316H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《微电子技术》
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作品数：920被引量：850H指数：10
曾用名：江南半导体通讯
issn：1008-0147cn：32-1479/TN
主办单位：中国华晶电子集团公司
发文主题：集成电路 IC VLSI CMOS 大屏幕彩电
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 机械工程
《光学学报》
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作品数：17859被引量：67256H指数：54
issn：0253-2239cn：31-1252/O4
主办单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：光纤光学 光学设计 成像系统 图像处理 光谱学
发文领域：理学 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 天文地球
《电子科技文摘》
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作品数：10413被引量：38H指数：2
issn：1009-0851cn：11-4388/TN
主办单位：信息产业部电子科学技术情报研究所
发文主题：会议录 计算机工程 电视技术 电子技术应用 PROCEEDINGS
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术 经济管理
《中国集成电路》
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作品数：11505被引量：3714H指数：13
issn：1681-5289cn：11-5209/TN
主办单位：中国半导体行业协会
发文主题：半导体 集成电路 芯片 集成电路产业 微电子
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《激光与光电子学进展》
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作品数：15632被引量：38829H指数：38
曾用名：国外激光
issn：1006-4125cn：31-1690/TN
主办单位：中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：图像处理 激光 激光器 激光技术 机器视觉
发文领域：电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺
《物理学报》
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作品数：30001被引量：93746H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
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