反应离子深刻蚀

作品数：11被引量：28H指数：4
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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相关机构：上海交通大学复旦大学中国科学院东南大学更多>>
相关期刊：《传感器世界》《电子学报》《真空科学与技术学报》《强激光与粒子束》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家自然科学基金(50075055)
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作品数：5被引量：10H指数：2
相关主题：反应离子刻蚀 PMMA 微结构 反应离子深刻蚀 LIMN2O4
相关领域：电子电信 电气工程
国家杰出青年科学基金(50325519)
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作品数：36被引量：61H指数：4
相关主题：元胞自动机 微机电系统 各向异性腐蚀 微加工技术 计算机仿真
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程
国家杰出青年科学基金
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作品数：32544被引量：308332H指数：139
相关主题：数值模拟 稳定性 力学性能 有限元 影响因素
相关领域：医药卫生 自动化与计算机技术 理学 天文地球 建筑科学
国家自然科学基金(60908023)
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作品数：26被引量：47H指数：4
相关主题：增透膜 二氧化硅 胶体晶体 二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶
相关领域：理学 机械工程 一般工业技术 化学工程 金属学及工艺
国家自然科学基金(NSF50730009)
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作品数：1被引量：2H指数：1
相关主题：反应离子深刻蚀 热传递
相关领域：电子电信
国防科技技术预先研究基金
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作品数：14879被引量：74601H指数：61
相关主题：仿真 神经网络 数值模拟 遗传算法 雷达
相关领域：自动化与计算机技术 电子电信 理学 航空宇航科学技术 一般工业技术
四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金
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作品数：140被引量：669H指数：13
相关主题：制备及性能 性能研究 碳纤维 泡沫混凝土 复合材料
相关领域：化学工程 理学 一般工业技术 建筑科学 兵器科学与技术
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