300MM晶圆

作品数:129被引量:28H指数:3
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相关领域:电子电信经济管理更多>>
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中国博士后科学基金(2012M510420)
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作品数:3被引量:17H指数:3
相关主题:300MM晶圆 化学机械抛光 晶圆 MM 材料去除率
相关领域:机械工程 电子电信 化学工程
国家自然科学基金(51205226)
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作品数:5被引量:22H指数:3
相关主题:300MM晶圆 化学机械抛光 晶圆 MM 材料去除率
相关领域:电子电信 机械工程 化学工程
国家自然科学基金
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作品数:3164197被引量:8349380H指数:432
相关主题:数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
中国博士后科学基金
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作品数:134139被引量:854910H指数:170
相关主题:数值模拟 影响因素 实证研究 力学性能 实证分析
相关领域:经济管理 医药卫生 自动化与计算机技术 理学 农业科学
创新研究群体科学基金
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作品数:3112被引量:30859H指数:61
相关主题:数值模拟 涡激振动 煤 影响因素 模型试验
相关领域:天文地球 理学 水利工程 自动化与计算机技术 建筑科学
创新研究群体科学基金(51021064)
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作品数:5被引量:18H指数:3
相关主题:化学机械抛光 300MM晶圆 晶圆 MM 材料去除率
相关领域:机械工程 交通运输工程 电子电信
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