光学曝光

作品数：11被引量：13H指数：2
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相关机构：中国科学院中国科学院微电子研究所合肥工业大学艾克塞利斯技术公司更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《集成电路应用》
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作品数：16962被引量：14179H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
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作品数：10574被引量：34135H指数：36
issn：1003-5060cn：34-1083/N
主办单位：合肥工业大学
发文主题：征稿简则 数值模拟 大学学报 自然科学 有限元
发文领域：自动化与计算机技术 理学 建筑科学 机械工程 交通运输工程
《中国集成电路》
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作品数：11505被引量：3741H指数：13
issn：1681-5289cn：11-5209/TN
主办单位：中国半导体行业协会
发文主题：半导体 集成电路 芯片 集成电路产业 微电子
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《电子与封装》
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作品数：4428被引量：6040H指数：21
issn：1681-1070cn：32-1709/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所
发文主题：封装 可靠性 FPGA 封装技术 集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 金属学及工艺
《商务周刊》
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作品数：9224被引量：1513H指数：11
issn：1009-4865cn：35-1242/F
主办单位：厦门经济特区经济研究所；厦门信息-信达总公司
发文主题：商务 周刊 品牌新闻 专访 企业
发文领域：经济管理 政治法律 文化科学 社会学 历史地理
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