杨振宇

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：中国科学院力学研究所更多>>
发文主题：MEMS阳极键合铝力学特征弹性模量更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
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Pyrex玻璃／铝多层阳极键合界面结构与力学分析被引量：8
《功能材料》2008年第9期1466-1469,共4页鲁晓莹 刘翠荣 孟庆森 杨振宇 赵亚溥 
国家自然科学基金资助项目(50375015,50671070)
采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接合界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究。分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征。分析认为键合区...
关键词：阳极键合 铝 Pyrex玻璃 力学特征 MEMS 
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