鲁晓莹

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：太原理工大学更多>>
发文主题：阳极键合键合铝材料结构阳极更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《兵器材料科学与工程》更多>>
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Pyrex玻璃／铝多层阳极键合界面结构与力学分析被引量：8
《功能材料》2008年第9期1466-1469,共4页鲁晓莹 刘翠荣 孟庆森 杨振宇 赵亚溥 
国家自然科学基金资助项目(50375015,50671070)
采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接合界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究。分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征。分析认为键合区...
关键词：阳极键合 铝 Pyrex玻璃 力学特征 MEMS 
硼硅玻璃与硅阳极键合机理分析被引量：5
《兵器材料科学与工程》2006年第4期5-7,共3页宋永刚 秦会峰 胡利方 鲁晓莹 孟庆森 
国家自然科学基金项目(50375105)
硼硅玻璃与硅进行阳极键合试验,通过扫描电镜及能谱分析对键合界面的微观结构进行分析,结果表明:玻璃/硅的键合界面有明显的中间过渡层生成;在电场力作用下玻璃耗尽层中的氧负离子向界面迁移扩散并与硅发生氧化反应是形成中间过渡层的...
关键词：阳极键合 硼硅玻璃 硅 过渡区 
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