杨晓东

作品数：14被引量：89H指数：6
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：激光分子束外延ZNO薄膜L-MBEZNO氧化锌更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术医药卫生更多>>
发文期刊：《硅酸盐学报》《真空科学与技术学报》《Journal of Semiconductors》《半导体光电》更多>>
所获基金：河南省杰出人才创新基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家教育部“211”工程更多>>
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L-MBE法生长ZnO薄膜的退火研究被引量：9
《光子学报》2008年第5期996-1000,共5页杨晓东 张景文 王东 毕臻 侯洵 
教育部985工程基金资助;教育部211工程二期基金资助;河南省杰出人才基金;教育部博士点基金资助
研究了空气退火对于激光分子束外延(L-MBE)法制备的ZnO薄膜光学及结构特性的影响,报道了采用小角度X射线分析(GIXA)技术对于ZnO薄膜退火前后的表面及界面状况的定量分析结果.RHEED衍射图样表明,薄膜经过380℃及600℃原位退火后,其表面...
关键词：氧化锌 激光分子束外延 退火 光致发光 在面Φ扫描 小角度X射线分析 
ZnO的激光分子束外延法制备及X射线研究被引量：10
《光子学报》2008年第3期485-489,共5页杨晓东 张景文 毕臻 贺永宁 侯洵 
教育部985工程;教育部211工程二期;河南省杰出人才基金;教育部博士点基金资助
利用激光分子束外延(L-MBE)技术在α-Al2O3(0001)衬底上生长出了沿C轴高度择优取向的ZnO外延薄膜,并采用Philips四晶高分辨X射线衍射仪(Philip′s X′Pert HR-MRD)对ZnO薄膜的表面及结构特性进行了研究.应用小角度X射线分析方法(GIXA)对...
关键词：氧化锌 激光分子束外延 小角度X射线分析 X射线反射率 
ZnO薄膜的L-MBE动力学机制被引量：2
《中国科学（E辑）》2007年第7期881-889,共9页贺永宁 张景文 杨晓东 徐庆安 朱长纯 侯洵 
"十五"211工程;西安交通大学自然科学基金;"985"平台建设培植资助项目
利用自制高纯ZnO陶瓷靶材进行了ZnO薄膜的激光分子束外延(L-MBE)生长,发现ZnO薄膜的L-MBE生长的沉积速率远低于脉冲激光沉积(PLD)的沉积速率,并且基于ZnO薄膜生长过程中ZnO靶材与纳秒脉冲激光的刻蚀实验现象,利用脉冲激光烧蚀ZnO陶瓷靶...
关键词：ZNO薄膜 激光分子束外延 动力学机制 
生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响被引量：1
《半导体光电》2006年第3期289-293,共5页徐庆安 张景文 杨晓东 巨楷如 贺永宁 侯洵 
教育部"985"工程2期项目;河南省杰出人才基金资助项目(0421001500);教育部博士点基金资助项目(20030698008)
在蓝宝石C面上利用激光分子束外延(L-MBE)的方法,分别在250、300、350、400和450℃下生长了高度C轴取向的ZnO薄膜,并对样品进行了X射线衍射、光致发光谱及反射式高能电子衍射的分析。测试结果表明,较低温度时,随着生长温度的升高,薄膜...
关键词：ZnO 激光分子束外延 X射线衍射 光致发光谱 反射式高能电子衍射 
L-MBE法制备以ZnO为沟道层的薄膜晶体管被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第6期1051-1054,共4页张新安 张景文 杨晓东 娄辉 刘振玲 张伟风 侯洵 
河南省杰出人才创新基金资助项目(批准号:0421001500)~~
采用激光分子束外延法(L- MBE)在SiNx/Si(111)衬底上制备了高质量的ZnO薄膜,用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶体结构、表面形貌进行了表征,结果表明ZnO薄膜有高度的c轴择优取向,薄膜表面平整致密.并以ZnO薄膜为沟道层制...
关键词：激光分子束外延 ZNO薄膜 薄膜晶体管 
生长温度对L-MBE法制备的ZnO薄膜性能的影响被引量：1
《人工晶体学报》2006年第2期248-252,共5页徐庆安 张景文 杨晓东 巨楷如 贺永宁 侯洵 
教育部985工程2期;211工程2期;河南省杰出人才基金(0421001500);教育部博士点基金(20030698008)资助项目
在蓝宝石C面上利用激光分子束外延(L-MBE)的方法,分别在250℃、300℃、350℃、400℃和450℃生长了高度C轴取向的ZnO薄膜。并进行了X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)谱的分析。测试结果表明,较低温度时,随着生长温度的升高,薄膜的结晶及发...
关键词：ZNO薄膜 生长温度 激光分子束外延 X射线衍射 光致发光谱 
激光分子束外延方法生长的ZnO薄膜的发光特性被引量：12
《发光学报》2006年第2期215-220,共6页谢伦军 陈光德 竹有章 张景文 杨晓东 徐庆安 侯洵 
国家自然科学基金资助项目(10474078)
研究了不同温度和不同光激发强度下激光分子束外延方法生长的ZnO薄膜样品的发光性能,发现YAG脉冲激光激发,强度超过一定值时会在长波方向上出现一个新的发光峰,此峰可能起源于电子-空穴的复合。室温下氙灯激发的光谱中可以看到峰值位于3...
关键词：ZNO薄膜 光致发光 电子-空穴等离子体 蓝带发射 
氧化锌导电类型转化的热力学分析被引量：2
《物理学报》2005年第6期2893-2898,共6页王洪波 张景文 杨晓东 刘振玲 徐庆安 侯洵 
为了更好了解ZnO在p型转化中存在的困难,文章对其进行了本征点缺陷的热力学分析,得到了热平衡状态时,ZnO中主要的点缺陷浓度与环境温度和氧气压的关系,并做出了其K V图.根据热力学分析结果,可以看出在热平衡状态下实现p型转化具有非常...
关键词：氧化锌 导电类型 p型转化 本征点缺陷 热力学 宽禁带半导体 
激光分子束外延工艺用ZnO陶瓷靶材的研究被引量：3
《硅酸盐学报》2005年第3期299-303,共5页贺永宁 朱长纯 候洵 杨晓东 
教育部"十五"211项目; 现代信息光子学的基础理论;关键技术和器件的研究项目;国家自然科学基金(60476037)资助项目
由改进的电子陶瓷工艺制备了ZnO(99.99%)高纯陶瓷靶材。用激光分子束外延(lasermolecularbeamepitaxy,L MBE))工艺,采用 这种靶材在蓝宝石基片上较低温度下生长了高结晶质量的ZnO半导体光电子薄膜。研究了ZnO高纯陶瓷靶材的烧结机理、...
关键词：氧化锌陶瓷 激光分子束外延 脉冲激光辐照效应 外延薄膜制备 激光脉冲沉积技术 生长方法 
ZnO薄膜的制备和结构性能分析被引量：5
《真空科学与技术学报》2004年第6期420-423,共4页贺永宁 朱长纯 侯洵 张景文 杨晓东 徐庆安 曾凡光 
教育部行动计划重大项目:海量信息技术紫外光源的研究;"十五"211工程项目:ZnO基纳米光电功能材料及其光电器件
ZnO作为一种宽带隙半导体材料 ,近几年来已经成为国际上紫外半导体光电子材料和器件领域的研究热点。激光分子束外延 (L MBE)系统是获得器件级ZnO外延薄膜的先进技术之一。高质量精密ZnO陶瓷靶材对于该工艺的实施是十分关键的 ,本文中...
关键词：MBE ZnO陶瓷 ZNO薄膜 宽带隙半导体材料 光电子材料 器件 蓝宝石基片 可控 薄膜光学 外延薄膜 
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